SiC kerámia lapát

A Semicorex SiC kerámia lapát egy fejlett alkatrész, amelyet olyan magas hőmérsékletű félvezető kemencékhez fejlesztettek ki, mint az oxidáció és a diffúzió. A lapát konzolos támaszként működik, hogy megtartsa és mozgassa az ostyákat magas hőmérsékleten. A Semicorex SiC kerámia lapát nagy tisztaságú, nagy szilárdságú kerámia alkatrészeket ad a magas hőmérsékletű folyamatokhoz, amelyek megbízhatóságot, stabilitást és teljesítményt igényelnek a gyártási folyamat során.

A lapátok nagy tisztaságúakszilícium-karbid (SiC), kifejezetten úgy lett kialakítva, hogy ellenálljon a félvezetőgyártási folyamatok kemény termikus és kémiai környezetének. Amikor az ostyákat oxidációval és diffúzióval kezelik, az ostya 1000 C-nál magasabb hőmérsékletnek, valamint reakcióképes gázoknak, például oxigénnek, gőznek vagy adalékanyag-atmoszférának van kitéve. Ezen a hőmérsékleten a szerkezeti integritás az anyag tisztaságától függ.

A SiC kerámia lapátok másik fontos jellemzője a kiváló teljesítmény magas hőmérsékleten. A SiC 2700+C olvadáspontja miatt a lapátok megőrzik szilárdságát és mechanikai stabilitását magas hőmérsékletnek kitéve.

jellemzői az idő múlásával. A termikus tulajdonság korlátozza az anyag vetemedését és repedését az ismételt fűtési és hűtési ciklusok során, miközben hosszú élettartamot biztosít a gyártási környezetben.

A félvezetők feldolgozása rendkívül tiszta környezetet igényel, mivel a szennyeződések nyomokban is befolyásolhatják az eszközök hozamát és viselkedését. A lapátokban használt SiC anyag kémiailag gőzzel leválasztott (CVD) SiC bevonattal rendelkezik, amely elősegíti a kivételesen magas anyagtisztaságot, miközben minimalizálja a fémes szennyeződést. A SiC kerámia lapát tiszta és stabil marad teljes élettartama alatt. Konzolos támaszként a lapátoknak biztonságos alátámasztást kell nyújtaniuk az ostyahordozóknak vagy csónakoknak a kemencébe való behelyezéskor és a kemencéből való eltávolításkor. mertSicA benne rejlő szilárdság és merevség miatt jó teherbíró tulajdonságokkal rendelkeznek, minimális elhajlás mellett, ami elengedhetetlen az ostya megfelelő kezeléséhez és beállításához. Az oxidációs és diffúziós kemencékben a korrozív atmoszféra idővel megtámadhatja és leronthatja a hagyományos anyagokat, de a SiC képes megőrizni kémiai stabilitását, meghosszabbítva a lapát élettartamát. Ez drámaian csökkenti a karbantartási és csereköltségeket, mivel a lapátokat közel sem kell olyan gyakran cserélni vagy javítani.

A teljesítményen túlmenően a lapátok rugalmasan testreszabhatók az egyes berendezésekhez és folyamatokhoz. A méretek, a tűréshatárok és a felületkezelés rugalmassá tehető annak érdekében, hogy a kemence kialakítása és bármely más ostyakezelő rendszer illeszkedjen. Az a képesség, hogy a kerámia precíziós megmunkálásával nagy méretpontosság érhető el, lehetővé teszi az összetett geometriáknak megfelelő lapátok előállítását is. A funkciók teljes skálája a zökkenőmentes működést és a meglévő gyártósorokba való egyszerű integrációt hivatott biztosítani.

Sic kerámiaA lapátok nagy tisztaságuk, hőstabilitásuk, mechanikai szilárdságuk és kémiai ellenállásuk kombinációjával alapvető anyagok a félvezető oxidációs és diffúziós folyamatokban. Azáltal, hogy stabil, tiszta platformot biztosítanak az ostyaátvitelhez, közvetlenül hozzájárulnak a jobb hozamhoz, a folyamat konzisztenciájához és az általános gyártási hatékonysághoz.