A maratás vagy a maratás döntő lépés a félvezetőgyártásban, a mikroelektronikai IC-gyártásban és a mikro-/nanogyártási folyamatokban. Ez a fotolitográfiához kapcsolódó elsődleges mintázási folyamat. Szűkebb értelemben a maratás lényegében fotolitográfiai maratás, ahol először fotolitográfiával expon......
Olvass továbbA szilícium-nitrid (Si₃N4) egy szerkezeti kerámia anyag, amelynek belső hővezető képessége körülbelül 320 W/(m·K), magas hővezető képességgel és kiemelkedő mechanikai tulajdonságokkal rendelkezik. Környezeti hőmérsékleten mutatott kiváló stabilitásának köszönhetően a Si₃N4 a modern félvezetőipar szé......
Olvass továbbA csúcsminőségű félvezető eszközök gyártása során a SiO₂ filmeket jellemzően oxidációs folyamatok útján alakítják ki a szubsztrátum felületkezelésére, és általános felhasználási területeik közé tartoznak az adalékanyag-zárórétegek, a felületi szigetelőrétegek, a kapu-oxid rétegek, a terepi oxidok és......
Olvass továbbA technológia fejlődésével olyan intelligens termékek, mint a mobiltelefonok, számítógépek, elektromos járművek és robotok integrálódtak az emberek életébe. Ezek a termékek nagyszámú félvezető chipet tartalmaznak, és a chipek gyártásához félvezető berendezésekre van szükség, például maratógépekre, l......
Olvass továbbA nagy ellenállású szilícium lapkák (HR-Si), ahogy a neve is sugallja, egy rendkívül nagy ellenállású monokristályos szilícium anyag. A fejlett félvezetőgyártás területén a nagyfrekvenciás veszteség komoly kihívást jelent a csúcskategóriás chiptervezésben. Ultra-nagy ellenállásának köszönhetően a na......
Olvass továbbA fókuszgyűrű, amelyet kompenzációs gyűrűnek vagy korlátozó gyűrűnek is neveznek, a maratóberendezések, különösen a plazmaszáraz maró berendezések nélkülözhetetlen alkatrésze. A nanoméretű precíziós maratási eljárások a modern félvezetőgyártásban nem lennének megvalósíthatók nélküle. A fókuszgyűrű h......
Olvass tovább