A mikroelektro-mechanikai rendszerek gyártási folyamatainak fő technológiája a száraz maratás. A száraz maratási eljárás teljesítménye közvetlen hatással van a félvezető eszközök szerkezeti pontosságára és működési teljesítményére. A maratási folyamat pontos szabályozása érdekében különös figyelmet ......
Olvass továbbA szilícium-karbid aerosztatikus csúszópálya egy fejlett vezetőpálya-rendszer, amely egyesíti a szilícium-karbid és az aerosztatikus technológia anyagtulajdonságait. A nagy pontosságú, nagy megbízhatóságú és hosszú távú mozgási rendszerek optimális megoldásaként működő szilícium-karbid aerosztatikus......
Olvass továbbA szilícium-karbid egykristályok előállításának fő módszere a fizikai gőzszállítás (PVT) módszer. Ez a módszer főként kvarccsőüregből, fűtőelemből (indukciós tekercsből vagy grafitfűtőből), grafit szén filc szigetelőanyagból, grafittégelyből, szilícium-karbid magkristályból, szilícium-karbid porból ......
Olvass továbbA SOI, a Silicon-On-Insulator rövidítése, egy speciális hordozóanyagokon alapuló félvezető-gyártási folyamat. Az 1980-as években történt iparosítása óta ez a technológia a fejlett félvezetőgyártási folyamatok fontos ágává vált. Egyedülálló háromrétegű kompozit szerkezete révén a SOI-eljárás jelentős......
Olvass továbbAz elektrosztatikus tokmány több funkciót is ellát, mint például az egyenletes elektrosztatikus kisülés, a hővezetés és a lapka adszorpciója és rögzítése a félvezetőgyártás területén. Az ESC egyik alapvető funkciója az ostyák stabil adszorbeálása extrém működési körülmények között, mint például nagy......
Olvass tovább