A félvezető-feldolgozáshoz használt Semicorex tartós fókuszgyűrűket úgy tervezték, hogy ellenálljanak a félvezető-feldolgozásban használt plazmamaratási kamrák szélsőséges környezeti hatásainak. Fókuszgyűrűink nagy tisztaságú grafitból készülnek, amely sűrű, kopásálló szilícium-karbid (SiC) bevonattal van bevonva. A SiC bevonat magas korrózió- és hőálló tulajdonságokkal, valamint kiváló hővezető képességgel rendelkezik. Vékony rétegekben SiC-ot viszünk fel a grafitra a kémiai gőzleválasztási (CVD) eljárással, hogy javítsuk fókuszgyűrűink élettartamát.
Olvass továbbKérdés küldése