A Semicorex SiC-bevonatú ICP-komponensét kifejezetten magas hőmérsékletű ostyakezelési eljárásokhoz tervezték, mint például az epitaxia és a MOCVD. Finom SiC kristály bevonattal hordozóink kiváló hőállóságot, egyenletes termikus egyenletességet és tartós vegyszerállóságot biztosítanak.
A Semicorex SiC-bevonatú ICP komponense a legjobb választás a magas hőmérsékletet és vegyszerállóságot igénylő lapkakezelési eljárásokhoz. Hordozóink egyenletes hőprofilokat, lamináris gázáramlási mintákat biztosítanak, és megakadályozzák a szennyeződést vagy a szennyeződések diffúzióját finom SiC kristályunknak köszönhetően. Finom SiC kristály bevonattal hordozóink kiváló hőállóságot, egyenletes termikus egyenletességet és tartós vegyszerállóságot biztosítanak.
A Semicorexnél arra összpontosítunk, hogy kiváló minőségű, költséghatékony termékeket biztosítsunk ügyfeleinknek. SiC-bevonatú ICP-komponensünk árelőnnyel rendelkezik, és számos európai és amerikai piacra exportálják. Célunk, hogy az Ön hosszú távú partnere legyünk, állandó minőségű termékeket és kivételes ügyfélszolgálatot biztosítva.
Lépjen kapcsolatba velünk még ma, ha többet szeretne megtudni SiC-bevonatú ICP-komponensünkről.
A SiC-bevonatú ICP-komponens paraméterei
A CVD-SIC bevonat főbb specifikációi |
||
SiC-CVD tulajdonságai |
||
Kristályszerkezet |
FCC β fázis |
|
Sűrűség |
g/cm³ |
3.21 |
Keménység |
Vickers keménység |
2500 |
Szemcseméret |
μm |
2~10 |
Kémiai tisztaság |
% |
99.99995 |
Hőkapacitás |
J kg-1 K-1 |
640 |
Szublimációs hőmérséklet |
℃ |
2700 |
Felexurális Erő |
MPa (RT 4 pontos) |
415 |
Young's Modulus |
Gpa (4 pont kanyar, 1300 ℃) |
430 |
Hőtágulás (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Hővezetőképesség |
(W/mK) |
300 |
A SiC bevonatú ICP komponens jellemzői
- Kerülje a leválást, és gondoskodjon a bevonatról minden felületen
Magas hőmérsékletű oxidációállóság: Stabil magas hőmérsékleten 1600°C-ig
Nagy tisztaságú: CVD kémiai gőzleválasztással készült magas hőmérsékletű klórozási körülmények között.
Korrózióállóság: nagy keménység, sűrű felület és finom részecskék.
Korrózióállóság: sav, lúg, só és szerves reagensek.
- A legjobb lamináris gázáramlási minta elérése
- Garantálja a hőprofil egyenletességét
- Kerülje el a szennyeződést vagy a szennyeződések diffúzióját