SIC bevonatú ostya -érzékenyek

A Semicorex SIC bevonatú ostya -érzelmeket úgy tervezték, hogy megfeleljenek a fejlett félvezetők gyártásának sürgető követelményeinek, különösen a nyomás nélküli ultravékony film -lerakódási rendszerekben. A precíziós tervezéssel kiváló hőteljesítményt, kémiai tartósságot és mechanikai stabilitást kínálnak-alapvető fontosságú a következő generációs környezetekhez a vékony filmfeldolgozáshoz.

Az olyan lerakódási technikákban, amelyek nem alkalmaznak nyomást, például az atomréteg lerakódását (ALD), a kémiai gőzlerakódást (CVD) és a fizikai gőzlerakódást (PVD) a nagyon vékony fóliákhoz, a fő követelmények az egységes hőmérséklet -eloszlás és a felületi stabilitás. A Susceptor-tervünk egyedisége abban rejlik, hogy magában foglalja egy nagy tisztaságú porózus szubsztrátot, amely lehetővé teszi, hogy hatékonyan működjön vákuum vagy közel vacuum körülmények között, ezáltal csökkentve a termikus feszültséget és az egyenletes energiaátvitelt biztosítva a ostya felületén.

A több lyukú struktúra kulcsfontosságú innováció: elősegíti a termikus tömeg csökkentését, elősegíti a gázáramlás egyenletes eloszlását, és enyhíti a nyomásingadozásokat, amelyek egyébként veszélyeztethetik a lerakódás egységességét. Ez a struktúra hozzájárul a gyorsabb termikus ramp-up és hűtési ciklusokhoz is, javítva az általános teljesítményt és a folyamatvezérlést.

Kínálunk számos érzelmi méretű, geometriát és porozitási szintet, amely megfelel a különféle lerakódási rendszerek és ostyák méretének. Gyártási folyamatunk moduláris jellege lehetővé teszi a testreszabás számára, hogy megfeleljen az ügyfél vékony film -folyamatának specifikus termikus, mechanikai és kémiai követelményeinek.

A Semicorex SIC bevonatú ostya-susceptor egy nagy teljesítményű megoldás, amely a nyomás nélküli ultravékony film lerakódásának egyedi kihívásaira vonatkozik. A porózus szerkezeti tervezés és a robusztus SIC bevonat kombinációja optimális támogatást nyújt a nagy pontosságú félvezető gyártási folyamatokhoz, lehetővé téve a jobb filmminőséget, a magasabb hozamokat és az alacsonyabb működési költségeket.