A Semicorex az Ön partnere a félvezető-feldolgozás fejlesztésében. Szilícium-karbid bevonataink sűrűek, magas hőmérséklet- és vegyszerállóak, amelyeket gyakran használnak a félvezetőgyártás teljes ciklusában, beleértve a félvezető lapkák és lapkák feldolgozását és a félvezető gyártást.
A nagy tisztaságú SiC kerámia alkatrészek kulcsfontosságúak a félvezető folyamatokban. Kínálatunk az ostyafeldolgozó berendezések fogyóeszköz-alkatrészeitől, például szilícium-karbid ostyahajótól, konzolos lapátoktól, csövektől stb. terjed az Epitaxy vagy MOCVD számára.
A félvezető eljárások előnyei
A vékonyréteg-lerakódási fázisoknak, mint például az epitaxia vagy a MOCVD, vagy az ostyakezelési folyamatoknak, mint például a maratás vagy az ionimplantáció, el kell viselniük a magas hőmérsékletet és a kemény vegyszeres tisztítást. A Semicorex nagy tisztaságú szilícium-karbid (SiC) konstrukció kiváló hőállóságot és tartós vegyszerállóságot, egyenletes termikus egyenletességet biztosít az egyenletes epiréteg vastagság és ellenállás érdekében.
Kamrafedelek →
A kristálynövekedéshez és az ostyakezeléshez használt kamrafedeleknek el kell viselniük a magas hőmérsékletet és a kemény vegyszeres tisztítást.
Konzolos lapát →
A konzolos lapát kulcsfontosságú alkatrész, amelyet a félvezetőgyártási folyamatokban használnak, különösen a diffúziós vagy LPCVD kemencékben olyan folyamatok során, mint a diffúzió és az RTP.
Process Tube →
A Process Tube kulcsfontosságú alkatrész, amelyet kifejezetten különféle félvezető-feldolgozási alkalmazásokhoz terveztek, mint például az RTP, a diffúzió.
Ostyahajók →
A Wafer Boat-ot félvezető-feldolgozásban használják, és aprólékosan megtervezték, hogy a finom ostyák biztonságban legyenek a gyártás kritikus szakaszaiban.
Bemeneti gyűrűk →
SiC bevonatú gázbevezető gyűrű MOCVD berendezéssel A vegyületnövekedés magas hő- és korrózióállósággal rendelkezik, amely rendkívül stabil extrém környezetben.
Fókuszgyűrű →
A Semicorex kellékei A szilícium-karbid bevonatú fókuszgyűrű igazán stabil RTA, RTP vagy durva vegyszeres tisztításhoz.
Ostya Chuck →
A Semicorex ultra-lapos kerámia vákuum ostyatokmányok nagy tisztaságú SiC bevonattal vannak ellátva az ostyakezelési folyamat során.
A Semicorexnek vannak kerámiatermékei alumínium-oxidból (Al2O3), szilícium-nitridből (Si3N4), alumínium-nitridből (AIN), cirkónium-dioxidból (ZrO2), kompozit kerámiából stb.
A Semicorex alumínium-nitrid szigetelőgyűrűk nélkülözhetetlen alkatrészek a fejlett félvezetőgyártásban, különösen a nagyfrekvenciás hőkezelési eljárásokban. A magas hőmérsékletű stabilitás, a kiváló tömítési tulajdonságok, a kivételes hővezető képesség és a benne rejlő tartósság egyedülálló kombinációja nélkülözhetetlenné teszi őket a precíz folyamatszabályozás, a nagy eszközteljesítmény és a meghosszabbított berendezések élettartamának biztosításához a félvezetőgyártás nehéz környezetében. Mi, a Semicorex elkötelezett a nagy teljesítményű alumínium-nitrid szigetelőgyűrűk gyártásával és szállításával, amelyek a minőséget a költséghatékonysággal ötvözik.**
Olvass továbbKérdés küldéseA Semicorex alumínium-nitrid elektrosztatikus tokmányok olyan tulajdonságok lenyűgöző kombinációját kínálják, amelyek ideálissá teszik őket a félvezető lapkafeldolgozás szigorú követelményeihez. Az a képességük, hogy biztonságos és egyenletes szeletrögzítést, kiváló hőkezelést és kemény feldolgozási környezetekkel szembeni ellenállást biztosítanak, jobb eszközteljesítményt, nagyobb hozamot és alacsonyabb gyártási költségeket eredményez. Mi, a Semicorex elkötelezett a nagy teljesítményű alumínium-nitrid elektrosztatikus tokmányok gyártásával és szállításával, amelyek a minőséget a költséghatékonysággal ötvözik.**
Olvass továbbKérdés küldéseA Semicorex SiC szelet-ellenőrző tokmányok kritikus eszközei a fejlett félvezetőgyártásnak, kielégítve a pontosság, tisztaság és teljesítmény iránti növekvő igényeket. Kiváló anyagtulajdonságaik kézzelfogható előnyökkel járnak az ostyagyártási folyamat során, végső soron hozzájárulva a nagyobb hozamokhoz, a jobb készülékteljesítményhez és az alacsonyabb gyártási költségekhez. Mi, a Semicorex elkötelezett a nagy teljesítményű SiC Wafer Inspection tokmányok gyártása és szállítása iránt, amelyek ötvözik a minőséget a költséghatékonysággal.**
Olvass továbbKérdés küldéseA Semicorex Alumina Ceramic Robotic Arm, más néven ostyakezelő kerámia robotkar vagy kerámia szilícium lapkakezelő villa, egy nagy teljesítményű félvezető berendezés alkatrésze. Kialakítása figyelembe veszi a félvezetőgyártás szigorú követelményeit. Magas hőmérséklet-állóságával, kopásállóságával, kémiai stabilitásával és kiváló elektromos szigetelési tulajdonságaival az alumínium-oxid kerámiakar pótolhatatlan szerepet játszik a globális félvezető-gyártó iparban. Mi, a Semicorex elkötelezett a nagy teljesítményű alumínium-oxid kerámia robotkar gyártása és szállítása iránt, amely ötvözi a minőséget a költséghatékonysággal.**
Olvass továbbKérdés küldéseA Semicorex SiC diffúziós kemencecső fejlett anyagtulajdonságai, beleértve a nagy hajlítószilárdságot, a kiemelkedő oxidáció- és korrózióállóságot, a nagy kopásállóságot, az alacsony súrlódási együtthatót, a kiváló magas hőmérsékletű mechanikai tulajdonságokat és az ultra-nagy tisztaságot, nélkülözhetetlenné teszik a félvezetőiparban. , különösen diffúziós kemence alkalmazásokhoz. Mi, a Semicorex elkötelezett a nagy teljesítményű SiC diffúziós kemencecsövek gyártásával és szállításával, amelyek a minőséget a költséghatékonysággal ötvözik.**
Olvass továbbKérdés küldéseA kiváló minőségű anyagtulajdonságokkal a Semicorex SiC Diffusion Boat optimális funkcionalitást képvisel a működési paraméterek széles spektrumában: keménység, rugalmasság, hő- és vegyszerállóság stb. Ez az anyagválasztás kulcsfontosságú a szennyeződés kockázatának csökkentése, az ostyák védelme és a tartósság szempontjából. A félvezető gyártási folyamatok során megerőltető körülmények uralkodnak. Mi, a Semicorex elkötelezett a nagy teljesítményű SiC diffúziós csónak gyártása és szállítása iránt, amely ötvözi a minőséget a költséghatékonysággal.**
Olvass továbbKérdés küldése