TaC bevonatú grafit alkatrészek

A Semicorex TaC bevonatú grafit alkatrészek nagy tisztaságú izosztatikus grafitból készülnek, és tantál-karbiddal (TaC) vannak bevonva, amely páratlan ellenállást biztosít a szélsőséges hőmérsékletekkel szemben. A TaC bevonatú grafit alkatrészeket úgy tervezték, hogy ellenálljanak a félvezetőgyártás során felmerülő szigorú feltételeknek, és kiválóan alkalmasak a kiváló minőségű félvezető termékek előállításához kulcsfontosságú folyamatok javítására. Kivételes hőállóságuk megbízhatóságot és hosszú élettartamot biztosít még a legnagyobb kihívást jelentő termikus környezetben is.

A TaC bevonatú grafit alkatrészek döntő szerepet játszanak a kulcsfontosságú félvezető-feldolgozási technikák optimalizálásában, beleértve a diffúziós folyamatokat, az oxidációs hőkezelést, az LPCVD-t és a PECVD-t. A TaC bevonatú grafit alkatrészek azáltal, hogy megkönnyítik a hőmérséklet precíz szabályozását és az alapfelületek egyenletességét, jelentősen hozzájárulnak a termékminőség és a gyártási hatékonyság javításához.

A Semicorex TaC bevonatú grafit alkatrészeket úgy tervezték, hogy megfeleljenek a félvezetőgyártás szigorú követelményeinek. A diffúziós folyamatok javításától a különböző leválasztási technikák minőségének és hatékonyságának javításáig a TaC bevonatú grafit alkatrészek nélkülözhetetlen eszközök a félvezetőgyártás kiválóságára való törekvésben.