TaC bevonatú bolygólemez

A Semicorex TaC bevonatú bolygólemez kulcsfontosságú eleme a MOCVD reaktoroknak, és bolygószerű kialakítást mutat, amelyet a felülete mentén elhelyezett számos szeletzseb jellemez. Ezeket a zsebeket kifejezetten úgy alakították ki, hogy megbízhatóan elhelyezzék az ostyákat bármely epitaxiális réteg növekedési fázisában, stabilizálva a szubsztrátumlapkákat és minimalizálva a szubsztrátum mozgását megemelt folyamat hőmérsékleten. A pontos zsebgeometria konzisztens ostyaelhelyezést biztosít, ami fontos az epitaxiális rétegek egyenletes vastagsága és a szubsztrátumhibák egyenletessége szempontjából az azonos folyamat során termesztett összes ostya esetében.

A bolygólemez fontos tervezési szempontja ismét a finom gázáramlási lyukak tervezett diszperziója a lemez felületén. Ezeket a lyukakat gondosan tervezték és stratégiailag úgy helyezték el, hogy a reaktorban lévő prekurzor gázok áramlását mérjék, így egyenletes gázeloszlás és egyenletes lerakódás érhető el az egyes lapkák között. Bármely MOCVD-eljárásban a gázdinamika szempontjai kritikusak a film minőségének, a vastagság egyenletességének és az eszköz általános teljesítményének meghatározásában. Az optimalizált furatkialakítás aTaC bevonattalA Planetary Plate biztosítja, hogy minden ostya ugyanazokat a folyamatkörülményeket élje meg, ami optimális módot biztosít a hozam és a reprodukálhatóság javítására.

ATaC (tantál-karbid) bevonattovább növeli a bolygólemez teljesítményét és élettartamát. A tantál-karbid rendkívül kemény, kémiailag semleges és hővezető, így kiváló bevonat extrém MOCVD-környezetekhez. Az epitaxia során a reaktor komponensei magas hőmérsékletnek, reaktív prekurzor gázoknak és plazma expozíciónak szembesülnek. A TaC bevonat robusztus gátat képez a korrózió, az oxidáció és a részecskeképződés ellen, így jelentősen meghosszabbítja a bolygólemez élettartamát, mint egy bevonat nélküli vagy hagyományos bevonatú lemez.

A TaC bevonatú bolygólemez hosszú élettartama és tartóssága költséghatékony választássá teszi a MOCVD-rendszerekhez. A tartós TaC réteg ellenáll az ismételt hőciklusoknak és az extrém technológiai gázoknak való kitettségnek, miközben megőrzi a szerkezeti integritást és a teljesítmény stabilitását, miközben hosszabb ideig működik.