TaC bevonatú tömítőgyűrű

A tömítő alkatrészekre felvitt Semicorex TaC bevonatú tömítőgyűrű kivételes teljesítményelőnyöket biztosít a félvezetőgyártás nehéz környezetében. A TaC bevonat a vegyi ellenállással, a szélsőséges hőmérsékletekkel és a mechanikai kopással kapcsolatos kritikus kihívásokat kezeli, lehetővé téve a nagyobb folyamathozamot, a berendezések megnövekedett üzemidejét és végső soron az alacsonyabb gyártási költségeket. Mi, a Semicorex elkötelezett a nagy teljesítményű TaC bevonatú tömítőgyűrű gyártása és szállítása iránt, amely ötvözi a minőséget a költséghatékonysággal.**

Kérdés küldése

termékleírás

A Semicorex TaC bevonatú tömítőgyűrű kiemelkedő közömbösséget mutat a félvezető eljárásokban használt korrozív gázok és vegyszerek széles skálájával szemben, beleértve a plazmamaratási kémiákat (pl. fluor, klór, bróm), adalékanyagokat (pl. bór, foszfor, arzén) és agresszív anyagokat. tisztítószerek. Ez a tehetetlenség megakadályozza a tömítés leépülését és az érzékeny folyamatkamrák szennyeződését.

A 3800°C-ot meghaladó olvadáspontjával a TaC-bevonatú tömítőgyűrű megőrzi szerkezeti integritását és mechanikai szilárdságát az ostyafeldolgozás során tapasztalt megemelt hőmérsékleten is. Ez biztosítja a megbízható tömítési teljesítményt a magas hőmérsékletű lágyítási, leválasztási és maratási folyamatok során.

A TaC bevonatú tömítőgyűrű rendkívüli keménysége és alacsony súrlódási együtthatója kivételes kopással, karcolásokkal és kopással szembeni ellenállást biztosít. Ez kritikus fontosságú a dinamikus tömítési alkalmazásokban, ahol az ismételt mozgás vagy az ostyákkal és más alkatrészekkel való érintkezés részecskeképződéshez és a tömítés meghibásodásához vezethet.

A TaC bevonatú tömítőgyűrű nagyon alacsony gázkibocsátási arányt mutat még magas hőmérsékleten is, így ideális nagy vákuumú alkalmazásokhoz. Ez biztosítja a folyamat tisztaságát és megakadályozza a nem kívánt szennyeződések lerakódását az érzékeny lapkafelületeken.

Speciális előnyök a félvezető alkalmazásokban:

Meghosszabbított tömítés élettartam:A TaC bevonatú tömítőgyűrű jelentősen megnöveli a tömítés élettartamát, mivel kiváló ellenálló képességet biztosít a vegyi hatásokkal, a hődegradációval és a mechanikai kopással szemben. Ez csökkenti a tömítéscserék gyakoriságát, minimalizálja az állásidőt és a karbantartási költségeket.

Javított folyamathozam és ostyaminőség:A TaC-bevonatú tömítőgyűrű inert természete minimálisra csökkenti a részecskeképződést és a szennyeződést, ami magasabb folyamathozamot és jobb szeletminőséget eredményez. Ez kritikus fontosságú a szigorú hibatűréssel rendelkező, nagy teljesítményű félvezető eszközök gyártásához.

Továbbfejlesztett berendezések üzemidő és termelékenység:A tömítések hosszabb élettartama és a kisebb karbantartási igények hozzájárulnak a berendezés üzemidejének és általános termelékenységének növekedéséhez. Ez kulcsfontosságú a teljesítmény maximalizálásához és a nagy volumenű félvezetőgyártás követelményeinek kielégítéséhez.