A TaC bevonatú magkristálytartó egy nagy teljesítményű alkatrész, amelyet kifejezetten a félvezető anyagok növekedési környezetéhez terveztek. A TTaC bevonatos magkristálytartók vezető gyártójaként a semicorex hatékony magkomponens-megoldásokat kínál a csúcsminőségű félvezetőgyártás területén.
A szubsztrátTaC bevonattala magkristálytartó általában grafitból, szilícium-karbidból vagy szén/szén kompozit anyagokból készül, majd a felületére egy TaC bevonatréteget visznek fel fejlett ultra-magas hőmérsékletű kémiai gőzleválasztási (CVD) technológia segítségével. Az ezzel a módszerrel készült TaC bevonatos magkristálytartó kiváló korrózióállósággal, szupermechanikai szilárdsággal, jó magas hőmérséklettel szembeni ellenállással és hatékony hővezető képességgel rendelkezik.
A TaC bevonatos magkristálytartó funkciója
1.Support funkció
A Semicorex TaC bevonatú magkristálytartója stabil támasztófelületet biztosít a magkristályok számára, garantálva, hogy a magkristály rögzített pozíciót tartson olyan kihívást jelentő körülmények között is, mint a magas hőmérséklet és a nagy vákuum. Ez hatékonyan megelőzi az olyan problémákat, mint a kristályok elmozdulása vagy a vibráció és a légáramlás okozta károsodás, és így biztosítja a kristálynövekedés folytonosságát és stabilitását.
2. Védő hatás
A TaC-bevonatú magkristálytartó a grafittégely fedele fölé van felszerelve, és elszigeteli a grafitfedelet a magas hőmérsékletű Si-gőztől. Ez hatékonyan elkerüli a gőz által kiváltott korróziót és meghosszabbítja a grafit fedél élettartamát. Ezenkívül a TaC bevonat kémiai stabilitása és hőállósága szintén segít csökkenteni a szennyeződések bejutását, így stabil és tiszta környezetet biztosít a magkristályok növekedéséhez.
3. Hőmérséklet szabályozás
A Semicorex TaC bevonatú magkristálytartó olyan gyártási technikákat alkalmaz, amelyek az iparág élvonalába tartoznak. A termikus tér precíz hőmérsékletszabályozása formájuk, méretük és bevonatvastagságuk szakszerű optimalizálásával érhető el. Ez jelentősen csökkenti a hibaarányt, és hatékonyan elősegíti az egyenletes kristálynövekedést.