TaC bevonatú szuszceptor

A grafit alapanyagból készült Semicorex TaC bevonatú szuszceptor tantál-karbiddal (TaC) van bevonva a teljesítmény és a tartósság növelése érdekében.

A tantál-karbid kivételes hőstabilitást biztosít, lehetővé téve, hogy a TaC bevonatú szuszceptor ellenálljon a rendkívül magas hőmérsékleteknek, amelyek gyakran előfordulnak olyan folyamatokban, mint a kémiai gőzleválasztás (CVD) és a fizikai gőzleválasztás (PVD). A TaC bevonat pedig kiváló ellenállást biztosít a kémiai reakciókkal, oxidációval és korrózióval szemben, ami kulcsfontosságú az integritás és a teljesítmény megőrzéséhez kemény kémiai környezetben.

A TaC Coated Susceptor egyenletes és stabil termikus tulajdonságai javítják a felhasznált folyamatok konzisztenciáját és minőségét, ami jobb hozamot és hatékonyságot eredményez a félvezetőgyártásban.

Eközben a TaC bevonatú szuszceptor TaC használata minimálisra csökkenti a szennyeződés kockázatát a félvezető folyamatokban, ami kritikus fontosságú a nagy tisztaságú és hibamentes elektronikai alkatrészek előállításához.

A TaC bevonatú szuszceptor alkalmazásai:

Félvezető gyártás: CVD és PVD eljárásokban használják vékony filmek és epitaxiális rétegek félvezető lapkákra történő felhordására.

LED gyártás: fénykibocsátó diódák (LED) gyártásánál alkalmazzák, ahol pontos és stabil hőviszonyokra van szükség.

Napelem gyártás: A fotovoltaikus cellák gyártásához használják a hatékonyság és a megbízhatóság növelésére.

A Semicorex TaC bevonatú szuszceptorok kritikusak a fejlett gyártási folyamatokban, ahol nagy hőstabilitás, vegyszerállóság és tartósság szükséges. Alkalmazásuk jobb teljesítményt, hosszú élettartamot és termékminőséget biztosít a csúcstechnológiás iparágakban.