TaC bevonatú cső

A Semicorex TaC Coated Tube ereje az alapanyag és a speciális bevonat szinergikus kombinációjában rejlik:

Nagy tisztaságú izotróp grafit alapozó:A TaC bevonatú cső magja rendkívül nagy tisztaságú izotróp grafitból készül, amely kiváló hővezető képességéről, alacsony hőtágulásáról és hősokkállóságáról híres. Ez az alap egy robusztus és stabil platformot biztosít, amely képes ellenállni a félvezető feldolgozásra jellemző gyors hőmérséklet-ingadozásoknak és nagy hőterheléseknek.

Tantál-karbid---A tartósság és a tehetetlenség pajzsa:A CVD-vel felvitt TaC bevonat átalakítja a grafit szubsztrátumot, kivételes keménységet, kopásállóságot és kémiai inertséget biztosítva. Ez a védőréteg gátat képez a félvezető gyártás során fellépő agresszív gázokkal, plazmákkal és reaktív anyagokkal szemben, biztosítva a cső szerkezeti integritását és hosszú élettartamát.

Ez az egyedülálló anyagkombináció számos előnnyel jár, amelyek kritikusak a fejlett félvezetőgyártáshoz:

Páratlan hőállóság:A TaC az összes ismert anyag közül az egyik legmagasabb olvadásponttal büszkélkedhet, még a szilícium-karbidot (SiC) is felülmúlva. Ez az extrém hőmérsékletállóság lehetővé teszi a TaC bevonatú cső megbízható működését 2500°C-ot meghaladó hőmérsékletet igénylő folyamatokban, lehetővé téve a következő generációs félvezető eszközök gyártását igényes hőköltségekkel.

Ultra-nagy tisztaságú kritikus folyamatszabályozáshoz:Az érintetlen folyamatkörnyezet fenntartása kiemelten fontos a félvezetőgyártásban. A nagy tisztaságú grafit használata és az aprólékos CVD bevonási eljárás biztosítja a minimális gázkibocsátást vagy részecskeképződést a TaC bevonatú csőből, megakadályozva a szennyeződést, amely veszélyeztetheti az érzékeny lapkafelületeket és az eszköz teljesítményét.

Megingathatatlan vegyi ellenállás:A TaC bevonatú cső kémiai tehetetlensége kivételes ellenállást biztosít a korrozív gázok, reaktív ionok és plazmakörnyezetek széles skálájával szemben, amelyeket általában olyan félvezető eljárásokban használnak, mint a maratás, leválasztás és izzítás. Ez a robusztus kémiai stabilitás meghosszabbítja a cső élettartamát, csökkenti a karbantartási igényeket és alacsonyabb összköltséget jelent.

Megnövelt mechanikai tartósság a meghosszabbított élettartamért:A TaC bevonat és a grafit szubsztrát közötti erős kötőerő, a TaC bevonatú cső eredendő keménységével párosulva kivételes kopással, erózióval és mechanikai igénybevétellel szembeni ellenállást biztosít. Ez a megnövelt tartósság meghosszabbítja az élettartamot és csökkenti a csere leállási idejét, javítja a folyamatok hatékonyságát és teljesítményét.