TaC bevonatú ostya szuszceptor

A Semicorex TaC bevonatú ostya szuszceptor a fém-szerves kémiai gőzleválasztásos (MOCVD) kemencékben használt döntő komponens a félvezető epitaxiális (epi) feldolgozáshoz. Ez a speciális kerek szuszceptor kiváló minőségű grafitanyagból készült, és egyedülálló tantál-karbid (TaC) bevonattal rendelkezik.

A TaC bevonat elsődleges célja a TaC bevonatú Wafer Susceptor teljesítményének és tartósságának növelése a félvezetőgyártási folyamatok nehéz körülményei között. A tantál-karbid kivételes keménységéről, magas olvadáspontjáról, valamint kopás- és korrózióállóságáról ismert. Ezek a tulajdonságok a TaC bevonatú Wafer Susceptor-t ideális választássá teszik az alatta lévő grafit szuszceptor védelmére a MOCVD kemencében fellépő kémiai reakcióktól és fizikai igénybevételektől.

A TaC bevonatú Wafer Susceptor létfontosságú szerepet játszik a félvezető anyagok epitaxiális növekedésében azáltal, hogy megkönnyíti a vékony filmek lerakódását az ostyákon. A magas hőmérsékletnek és a kemény vegyi környezetnek ellenálló képessége kulcsfontosságú a félvezető eszközök precíz és megbízható gyártásához.

A TaC bevonatú Wafer Susceptor grafitmaggal és tantál-karbid bevonattal egyenletes és egyenletes hőeloszlást biztosít, hozzájárulva a MOCVD-folyamat során kitermelt félvezető rétegek reprodukálhatóságához és minőségéhez. Ez a fejlett anyagkombináció megbízható és tartós megoldássá teszi a félvezetőgyártáshoz, amely megfelel a modern elektronikai eszközgyártás szigorú követelményeinek.