TaC bevonatvezető gyűrű

FunkciójaTaC bevonatvezető gyűrű:

Pontos gázáramlás szabályozás:A TaC bevonatvezető gyűrű stratégiailag a MOCVD reaktor gázbefecskendező rendszerében van elhelyezve. elsődleges feladata a prekurzor gázok áramlásának irányítása és egyenletes eloszlásuk biztosítása a hordozó lapka felületén. A gázáramlás dinamikájának ez a pontos szabályozása elengedhetetlen az egyenletes epitaxiális rétegnövekedés és a kívánt anyagtulajdonságok eléréséhez.

Hőkezelés:A TaC bevonatvezető gyűrű gyakran magas hőmérsékleten működik, mivel közel van a fűtött szuszceptorhoz és a hordozóhoz. A TaC kiváló hővezető képessége segít a hő hatékony elvezetésében, megakadályozza a helyi túlmelegedést, és stabil hőmérsékleti profilt tart fenn a reakciózónán belül.

A TaC előnyei MOCVD-ben:

Extrém hőmérsékleti ellenállás:A TaC az egyik legmagasabb olvadásponttal büszkélkedhet az összes anyag közül, meghaladja a 3800 °C-ot. 

Kiváló kémiai tehetetlenség:A TaC kivételesen ellenáll a korróziónak és a MOCVD-ben használt reaktív prekurzor gázoknak, például az ammóniának, a szilánnak és a különböző fém-szerves vegyületeknek.

Korrózióállóság A TaC és a SiC összehasonlítása

Alacsony hőtágulás:A TaC alacsony hőtágulási együtthatója minimálisra csökkenti a hőmérséklet-ingadozások miatti méretváltozásokat a MOCVD folyamat során. 

Magas kopásállóság:A TaC keménysége és tartóssága kiváló kopásállóságot biztosít a MOCVD rendszeren belüli állandó gázáramlásból és potenciális részecskékből eredően. 

A MOCVD teljesítmény előnyei:

A Semicorex TaC bevonatvezető gyűrű használata MOCVD berendezésekben jelentősen hozzájárul:

Továbbfejlesztett epitaxiális réteg egyenletesség:A TaC bevonatvezető gyűrű által elősegített precíz gázáramlás-szabályozás egyenletes prekurzoreloszlást biztosít, ami rendkívül egyenletes epitaxiális rétegnövekedést eredményez egyenletes vastagság és összetétel mellett.

Fokozott folyamatstabilitás:A TaC termikus stabilitása és kémiai inertsége hozzájárul a stabilabb és szabályozottabb reakciókörnyezet kialakításához a MOCVD-kamrában, minimalizálva a folyamatváltozásokat és javítva a reprodukálhatóságot.

Megnövelt üzemidő:A TaC bevonatvezető gyűrű tartóssága és meghosszabbított élettartama csökkenti a gyakori cserék szükségességét, minimalizálja a karbantartási állásidőt és maximalizálja a MOCVD rendszer működési hatékonyságát.