TaC bevonat Félhold

A Semicorex TaC Coating Half-moon tantál-karbiddal (TaC) bevont grafitból készült speciális alkatrész, amelyet epitaxiális folyamatokhoz terveztek. Ez a TaC bevonat Half-moon kihasználja a TaC kivételes tulajdonságait, beleértve a magas olvadáspontját, a kiváló hővezető képességét és a figyelemre méltó kémiai stabilitását, így ideális az igényes félvezetőgyártási környezetekhez.

Főbb jellemzők:

Anyagösszetétel: TaC bevonatú grafit a fokozott tartósság és teljesítmény érdekében.

Alkalmazás: epitaxiális folyamatokhoz és LPE reaktorokhoz optimalizálva.

Hőstabilitás: Kiváló hőállóság, ellenáll a magas hőmérsékleti viszonyoknak.

Vegyi ellenállás: Kiváló ellenállás a korrozív környezettel szemben, ami biztosítja a hosszú élettartamot és a megbízhatóságot.

Forma: Félholdas kialakítás az optimális illeszkedés és működés érdekében a reaktorban.

A TaC Coating Half-moon alapvető eleme azoknak a szakembereknek, akik optimalizálni kívánják epitaxiális folyamatukat, és javítani kívánják a félvezetőgyártás általános hatékonyságát és minőségét.