TaC bevonat felső félhold

A Semicorex TaC Coating Upper Halfmoon egy kifejezetten a nagy hatékonyságú epitaxiális folyamatok megvalósítására tervezett alkatrész a félvezetőgyártás területén. A TaC Coating Upper Halfmoon darabot úgy tervezték, hogy zökkenőmentesen illeszkedjen az epitaxiális reaktorokba, kivételes tartósságot és stabilitást biztosítva extrém körülmények között.

A TaC bevonat kiválóan ellenáll a magas hőmérsékletnek, így a TaC Coating Upper Halfmoon ideális az epitaxiális folyamatok igényes termikus környezetéhez. Ez egyenletes teljesítményt és hosszú élettartamot biztosít, csökkentve a cserék gyakoriságát és az állásidőt. A TaC Coating Upper Halfmoon ellenáll a korrozív gázoknak és az epitaxiális növekedésben általánosan használt vegyszereknek, védi az alkatrész integritását és fenntartja a folyamat tisztaságát.

A sima és egyenletes TaC bevonat javítja az epitaxiális rétegek minőségét azáltal, hogy minimalizálja a hibákat és a szennyeződéseket. Ez hozzájárul a félvezető eszközök nagyobb hozamához és kiváló elektronikus tulajdonságaihoz. A hő- és vegyi ellenállás kombinációja meghosszabbítja a TaC Coating Upper Halfmoon élettartamát, így költséghatékony megoldást kínál a félvezetőgyártás nagy áteresztőképességének és hatékonyságának fenntartásához.

Alkalmazások:

Magas hőmérsékletű kémiai gőzfázisú leválasztási (CVD) eljárások

Szilícium-karbid (SiC) és gallium-nitrid (GaN) epitaxia

Műszaki adatok:

Anyaga: Tantál-karbid (TaC) bevonat

Hőmérséklet tartomány: 2200°C-ig

Kémiai ellenállás: Kiváló HF, HCl és más korrozív gázok ellen

Méretek: Testreszabható, hogy megfeleljen az adott reaktormodellnek

A Semicorex TaC Coating Upper Halfmoon elengedhetetlen összetevője a kiváló minőségű epitaxiális rétegek kialakításának, jobb hatékonysággal és csökkentett szennyeződési kockázattal. Fejlett anyagtulajdonságai és precíz tervezése értékes eszközzé teszik a félvezetőiparban, amely támogatja a következő generációs elektronikai eszközök gyártását.