A Semicorex alumínium-oxid kerámia vége effektor egy precíziós tervezésű alkatrész, amelyet kifejezetten megbízható és szennyeződés nélküli ostyakezelésre terveztek félvezető gyártásban és kapcsolódó alkalmazásokban.*
A Semicorex alumínium -oxid kerámia vége effektor alapvető eszköz az automatizált ostyaátviteli rendszerekben, amelyek páratlan mechanikai szilárdságot, hőstabilitást és kémiai ellenállást kínálnak. Nagy tisztaságú gyártásalumínium -oxid (al₂o₃) kerámia, Ezt a véghatást úgy tervezték, hogy megfeleljen az ostya -feldolgozási környezet szigorú igényeinek, ahol a pontosság, a tisztaság és a tartósság kiemelkedő fontosságú.
A félvezető robotfegyverek a félvezető berendezések egyik fontos része. Általában vezérlőkből, sofőrökből, karokból és végső effektorokból állnak. Ezeket nagy tisztaság, nagy stabilitás, nagy pontosság, nagy hatékonyság és nagy megbízhatóság jellemzi. A félvezető robotokat elsősorban a félvezető gyártásának front-end folyamatában használják a félvezető ostyák szállítására, szállítására és elhelyezésére.
Az alumínium-oxid-tartalommal rendelkező kerámiaszerkezet, amely jellemzően meghaladja a 99,5% -ot, kiváló keménységet és kopásállóságot biztosít az ismételt mozgásokhoz nagy pontosságú környezetben, idővel lebomlás nélkül. A magas hővezetőképesség és az alumínium -oxid alacsony termikus tágulása lehetővé teszi a megnövekedett hőmérsékletű környezetben a méret stabilitását, szükségszerűség a legmegfelelőbb műtétben a félvezetőknél, például egy etcherben, lerakóban, ellenőrző vagy tisztító eszközben.
Aalumínium -oxid kerámiaA End Effector figyelemre méltó, jellemző felületi felülete sima és alacsony porozitású, így a nulla részecskék közel állnak, és minimalizálják, vagy nulla hatást gyakorolnak a szennyező anyagokra az ostyakezelés során. Ezenkívül az alumínium -oxid kémiailag inert. Ez azt jelenti, hogy nem reagál a folyamatgázokkal és olyan folyadékokkal, amelyekkel az ostya érintkezik. Ez megvédi az ostyát és az önmagának a szennyeződést és a berendezéseket bármitől, amely korróziót okozhat.
Általában végső effektorokként vagy szorító mechanizmusként használják robotkarokhoz vagy transzfer modulokhoz a ostya gyártó berendezéseiben és berendezésekben, például egy marató vagy depoStation szerszám, ellenőrző vagy tisztítószerszám, pontos résidőkkel, hornyokkal vagy vákuumcsatornákkal, függetlenül attól, hogy 100 mm, 200 mm, vagy 300 mm -es, és átviteli a WAFER -eket. A végső effektorok általában 25 cm/másodperc sebességgel kezelik az ostyaátviteli sebességet.
A testreszabási lehetőségek léteznek a meghatározott berendezés -interfészekhez vagy ostya méretéhez tervezett vonal mentén. Az alumínium -oxid szerkezeti merevsége olyan vékony és könnyű profilokat tesz lehetővé, amelyek minimalizálják a kezelési rendszer általános tömegét, és gyorsabb válaszidőket eredményeznek. Egyes konfigurációk hozzáadhatnak anti-statikus vagy szigetelő komponenseket is, hogy további védelmet biztosítsanak az érzékeny elektronikus szubsztrátok számára.
Összességében az alumínium -oxid kerámia vége effektor hatékony megoldást kínál, amely elősegíti a jobb hozamot és a csökkent szennyeződést, ahol az operatív megbízhatóság kulcsfontosságú elemei az ostyafeldolgozó vonal számára. Tartóssági és fizikai teljesítményjellemzőivel a hatékony és költséghatékony alumínium-oxid kerámia vége megkülönbözteti magát, mint népszerű választást a félvezető berendezések gyártóinak és a FAB-k körében, amelyek szigorú termelési szabványokat igényelnek ultra-tiszta környezetben.