Alumínium-nitrid kerámia tokmány

Az alumínium-nitrid kerámia tokmány egy élvonalbeli megoldást jelent a félvezető lapkák feldolgozásához, amelyet kifejezetten az ostyák biztonságos rögzítésére terveztek a gyártás különböző szakaszaiban. Ez az elektrosztatikus tokmányként (ESC) működő innovatív eszköz az alumínium-nitrid kerámia kivételes tulajdonságait aknázza ki a precíz és megbízható lapkatartás érdekében.

A Semicorex alumínium-nitrid kerámia tokmány elektrosztatikus erőket alkalmaz, hogy szilárdan megragadja az ostyát a felületén. Ez egy aprólékosan megtervezett lemezen keresztül érhető el, amely integrált elektródákkal rendelkezik, amelyek stratégiailag nagy feszültséggel vannak előfeszítve. Ennek eredményeként elektrosztatikus tartóerő jön létre a lemez és az ostya között, ami hatékonyan rögzíti az ostyát a helyén a feldolgozási szakaszok során.

Az alumínium-nitrid kerámia tokmány egyik kiemelkedő tulajdonsága a magas hővezető képesség és a szigetelő tulajdonságok figyelemre méltó kombinációja. Ez az egyedülálló tulajdonságkeverék ideális anyagválasztássá teszi az ESC alkalmazásokhoz. A magas hővezető képesség hatékony hőelvezetést biztosít, ami elengedhetetlen az egyenletes hőmérséklet-eloszlás fenntartásához az ostyán a feldolgozás során. Ezzel egyidejűleg kivételes szigetelési tulajdonságai elektromos szigetelést biztosítanak a tokmány és a lapka között, minimálisra csökkentve az elektromos interferencia vagy az érzékeny félvezető alkatrészek károsodásának kockázatát.

Az alumínium-nitrid kerámia tokmány számos előnnyel rendelkezik a hagyományos tokmányanyagokhoz képest. Robusztus felépítése biztosítja a hosszú távú tartósságot, és képes ellenállni a félvezetőgyártási környezet szigorú követelményeinek. Ezenkívül a magas hőmérsékletű folyamatokkal való kompatibilitása és a hőtágulásnak való ellenállása nélkülözhetetlen eszközzé teszi a konzisztens és jó minőségű ostyafeldolgozási eredmények elérésében.