Alumínium-nitrid elektrosztatikus tokmányok

Az alumínium-nitrid elektrosztatikus tokmányok elektrosztatikus erőket használnak fel a lapkák biztonságos rögzítésére a különböző félvezető-gyártási folyamatok során. Ez a módszer kiküszöböli a mechanikus bilincsek vagy vákuumrendszerek szükségességét, csökkentve a részecskeképződés és a mechanikai igénybevétel kockázatát a finom lapkákon. Az alumínium-nitrid elektrosztatikus tokmányok egyik legfontosabb előnye, hogy képesek rendkívül egyenletes és stabil elektrosztatikus erőt generálni a lapka teljes felületén. Ez biztosítja az állandó érintkezést, és megakadályozza az ostya elcsúszását vagy deformálódását a feldolgozás során, ami a lerakódott filmek egyenletesebbé tételéhez, a maratott jellemzők és más kritikus paraméterek javulásához vezet. Ez az egyenletes szorítóerő minimálisra csökkenti az ostya torzulását, ami javítja az eszköz teljesítményét és hozamát.

Ami termikus tulajdonságait illeti, az alumínium-nitrid elektrosztatikus tokmányok magas hővezető képessége lehetővé teszi a hatékony hőelvezetést a magas hőmérsékletű folyamatok során, megelőzve a hőterhelést és egyenletes hőmérsékleteloszlást biztosítva az ostyán. Ez kritikus az olyan alkalmazásokban, mint a gyors hőfeldolgozás és a plazmamarás, ahol a helyi melegítés negatívan befolyásolhatja az eszköz teljesítményét. Ráadásul a félvezető gyártási folyamat gyakran gyors hőmérséklet-átalakulással jár. Az alumínium-nitrid elektrosztatikus tokmányok magas hősokkállósága lehetővé teszi, hogy ellenálljon ezeknek a hirtelen hőmérséklet-változásoknak, degradáció vagy repedés nélkül, biztosítva a tokmány hosszú élettartamát és megbízható teljesítményét hosszabb használat során. Mi több, az AlN hőtágulási együtthatója (CTE) szorosan megegyezik a szilícium lapkákéval. Ez a kompatibilitás minimálisra csökkenti az ostya-tokmány felületén a termikus ciklus során fellépő feszültséget, megelőzve az ostya ívét, a torzítást és a lehetséges hibákat, amelyek befolyásolhatják az eszköz teljesítményét és teljesítményét.

Az AlN mechanikailag robusztus anyag, nagy hajlítószilárdsággal és törésállósággal. Ez a benne rejlő szilárdság lehetővé teszi, hogy az alumínium-nitrid elektrosztatikus tokmányok ellenálljanak a nagy volumenű gyártás során fellépő mechanikai igénybevételeknek, így biztosítva az egyenletes teljesítményt és a meghosszabbított élettartamot. Másrészt az AlN kiváló ellenállást mutat a félvezető feldolgozásban általánosan használt vegyszerek és plazmák széles skálájával szemben. Kiváló oxidációs ellenállást mutat még magasabb hőmérsékleten is, így biztosítva, hogy az alumínium-nitrid elektrosztatikus tokmányok felülete érintetlen és szennyeződésmentes maradjon a teljes élettartama alatt.

A Semicorex alumínium-nitrid elektrosztatikus tokmányok különféle méretben és vastagságban állnak rendelkezésre, hogy megfeleljenek a különböző szeletátmérőknek és a folyamat követelményeinek. Ez az alkalmazkodóképesség alkalmassá teszi őket a félvezetőgyártási alkalmazások széles skálájára, a kutatástól és fejlesztéstől a nagy volumenű gyártásig.