Elektrosztatikus tokmány ESC

A Semicorex Elektrosztatikus tokmány ESC az elektrosztatikus adhézió elvén működik, és a dielektromos kerámiarétegre nagyfeszültségű egyenáramot (DC) alkalmaz. Ez a technológia lehetővé teszi az ostyák vagy más anyagok biztonságos rögzítését a feldolgozás során, biztosítva a stabilitást és a pontosságot a gyártás különböző szakaszaiban.

Ha nagy egyenfeszültséget kapcsolunk a tokmányra, a kerámia dielektromos rétegben lévő töltött ionok elvándorolnak és felhalmozódnak a felületén. Ez erős elektrosztatikus mezőt hoz létre a tokmány és a feldolgozandó termék között. A generált elektrosztatikus vonzás elég robusztus ahhoz, hogy az ostyát a helyén tartsa, így még bonyolult és nagy pontosságú műveletek során is mozdulatlan marad. Ez a biztonságos tartás kritikus fontosságú, mivel segít csökkenteni a mikromozgásokat és rezgéseket, amelyek veszélyeztethetik a feldolgozott lapkák minőségét és integritását. Az ostyák minimális mechanikai érintkezéssel történő rögzítésének képessége megakadályozza a fizikai sérüléseket is, ami külön előny a hagyományos rögzítési módszerekkel szemben.

A J-R típusú elektrosztatikus tokmány ESC beépített elektródákkal van felszerelve, amelyek elengedhetetlenek ennek az elektrosztatikus tapadásnak a létrehozásához. Ezek az elektródák a tokmányon belül vannak elhelyezve, hogy az elektrosztatikus erőt egyenletesen osszák el a lapka vagy más feldolgozott anyagok felületén. Ez az egyenletes eloszlás egyenletes nyomást biztosít, amely szükséges az egységesség fenntartásához olyan összetett folyamatok során, mint a maratás, ionbeültetés és leválasztás. Az elektrosztatikus tokmány ESC által kínált precíz tapadás lehetővé teszi, hogy megfeleljen a modern félvezetőgyártás szigorú követelményeinek.

Elsődleges tapadási funkciója mellett az elektrosztatikus tokmány ESC kifinomult hőmérséklet-szabályozó rendszerrel is rendelkezik. A tokmány beépített fűtőelemeket tartalmaz, amelyek célja a feldolgozott termék hőmérsékletének szabályozása. A hőmérséklet-szabályozás kulcsfontosságú tényező a félvezetőgyártásban, mivel még az enyhe hőmérséklet-ingadozások is befolyásolhatják a folyamat kimenetelét. Az elektrosztatikus tokmány ESC többzónás hőmérséklet-szabályozást kínál, lehetővé téve az ostya különböző szakaszainak egymástól független fűtését vagy hűtését. Ez biztosítja, hogy a hőmérséklet egyenletes maradjon az ostya teljes felületén, elősegítve az egyenletes feldolgozási eredményeket és csökkentve a hőkárosodás vagy a vetemedés kockázatát.

Egy másik figyelemre méltó jellemző a nagy tisztaságú anyagok felhasználása az elektrosztatikus tokmány ESC felépítésében. Az ehhez a tokmányhoz kiválasztott anyagokat úgy tervezték, hogy minimálisra csökkentsék a szemcsés szennyeződést, ami kritikus probléma a félvezető gyártás során. Még a kis részecskék is hibákat okozhatnak a gyártott mikrostruktúrákban, ami csökkenti a hozamot és a termék esetleges meghibásodását. A nagy tisztaságú anyagok használatával az elektrosztatikus tokmány ESC csökkenti annak kockázatát, hogy szennyeződések kerüljenek a feldolgozási környezetbe, így támogatja a kiváló minőségű termelést.

Az elektrosztatikus tokmány ESC ellenáll a plazma eróziónak. Számos félvezető eljárás során, különösen a maratás és leválasztás során, a tokmány reaktív plazmakörnyezetnek van kitéve. Idővel ez a kitettség leronthatja a tokmányban használt anyagokat, befolyásolva annak teljesítményét és élettartamát. Az elektrosztatikus tokmány ESC-t kifejezetten úgy tervezték, hogy ellenálljon a plazma eróziónak, lehetővé téve szerkezeti integritásának és teljesítményének megőrzését még kemény feldolgozási körülmények között is. Ez a tartósság hosszabb élettartamot jelent, csökkentve a gyakori cserék szükségességét, és minimálisra csökkenti a gyártósoron az állásidőt.

Az elektrosztatikus tokmány ESC mechanikai tulajdonságai szintén kritikus jelentőséggel bírnak. A tokmányt rendkívül szűk tűréshatárok mellett gyártják, így biztosítva, hogy megtartsa a konkrét alkalmazási területeihez szükséges pontos formát és méreteket. Nagy pontosságú megmunkálási technikákat alkalmaznak a szükséges felületi síkság és simaság eléréséhez, amelyek elengedhetetlenek az egyenletes elektrosztatikus tapadás biztosításához és a kényes lapkák sérülésének kockázatának minimalizálásához. A tokmány mechanikai szilárdsága ugyanolyan lenyűgöző, lehetővé téve, hogy ellenálljon a magas hőmérsékletű és nagynyomású folyamatok során fellépő fizikai igénybevételeknek anélkül, hogy deformálódna vagy elveszítené az ostya biztonságos tartási képességét.