Elektrosztatikus tokmány E-tokmány

A Semicorex elektrosztatikus tokmány E-Chuck az elektrosztatikus vonzás elvén működik, megbízható és precíz szeletrögzítést kínál mechanikus bilincsek vagy vákuumszívás nélkül, különösen maratáshoz, ionimpl-

félvezető feldolgozás, PVD, CVD stb. Testreszabható méreteinek köszönhetően sokféle alkalmazáshoz alkalmazkodik, így ideális választás a félvezető-gyártási folyamatokban rugalmasságot és hatékonyságot kereső cégek számára.

A J-R típusú E-Chuck elektrosztatikus tokmány mögött meghúzódó alapvető technológia az, hogy képes elektrosztatikus erőt generálni az ostya és a tokmány felülete között. Ez az erő úgy jön létre, hogy a tokmányba ágyazott elektródákra nagy feszültséget kapcsolunk, ami töltéseket indukál mind az ostyán, mind a tokmányon, ezáltal erős elektrosztatikus kötést hoz létre. Ez a mechanizmus nemcsak biztonságosan a helyén tartja az ostyát, hanem minimalizálja az ostya és a tokmány közötti fizikai érintkezést is, csökkentve a lehetséges szennyeződéseket vagy a mechanikai igénybevételt, amely károsíthatja az érzékeny félvezető anyagokat.

A Semicorex a megrendelői igényektől függően 200 mm-től 300 mm-ig, vagy akár nagyobb méretben is képes egyedi termékeket gyártani. Ezekkel a testreszabható opciókkal a J-R típusú ESC maximális rugalmasságot biztosít számos félvezető eljáráshoz, beleértve a plazmamarást, a kémiai gőzleválasztást (CVD), a fizikai gőzleválasztást (PVD) és az ionimplantációt.

Anyagok tekintetében az elektrosztatikus tokmány E-Chuck kiváló minőségű kerámia anyagokból készül, mint például alumínium-oxid (Al2O3) vagy alumínium-nitrid (AlN), amelyek kiváló dielektromos tulajdonságaikról, mechanikai szilárdságukról és termikus stabilitásukról ismertek. Ezek a kerámiák biztosítják a tokmánynak a szükséges tartósságot, hogy ellenálljon a félvezetőgyártás zord körülményeinek, például a magas hőmérsékletnek, a korrozív környezetnek és a plazmaexpozíciónak. Ezenkívül a kerámia felületet nagyfokú simaságra polírozzák, hogy egyenletes érintkezést biztosítson az ostyával, fokozva az elektrosztatikus erőt és javítva az általános folyamatteljesítményt.

Az elektrosztatikus tokmány E-Chuck-ot a félvezetőgyártás során gyakran előforduló termikus kihívások kezelésére is tervezték. A hőmérséklet-szabályozás kritikus fontosságú olyan folyamatok során, mint a maratás vagy lerakás, ahol az ostya hőmérséklete gyorsan ingadozhat. A tokmányban használt kerámia anyagok kiváló hővezető képességet biztosítanak, segítik a hatékony hőelvezetést és stabil ostya hőmérsékletet.

Az elektrosztatikus tokmány E-Chuck tervezésénél hangsúlyt fektettek a részecskék szennyeződésének minimalizálására, ami kritikus a félvezetőgyártásban, ahol még a mikroszkopikus részecskék is hibás végtermékhez vezethetnek. A tokmány sima kerámia felülete csökkenti a részecskék tapadásának valószínűségét, az ostya és a tokmány közötti csökkentett fizikai érintkezés pedig az elektrosztatikus tartómechanizmusnak köszönhetően tovább csökkenti a szennyeződés kockázatát. A J-R típusú ESC egyes modelljei fejlett felületi bevonatokat vagy kezeléseket is tartalmaznak, amelyek taszítják a részecskéket és ellenállnak a korróziónak, növelve a tokmány élettartamát és megbízhatóságát tisztatéri környezetben.

Összefoglalva, a J-R típusú elektrosztatikus tokmány E-Chuck egy sokoldalú és megbízható lapkatartó megoldás, amely kivételes teljesítményt kínál a félvezetőgyártási folyamatok széles körében. Testreszabható kialakítása, fejlett elektrosztatikus rögzítési technológiája és robusztus anyagtulajdonságai ideális választássá teszik azoknak a vállalatoknak, amelyek optimalizálni kívánják az ostyakezelést, miközben megtartják a legmagasabb tisztasági és precizitási szabványokat. Akár plazmamaratáshoz, akár leválasztáshoz vagy ionimplantációhoz használják, a J-R típusú ESC biztosítja azt a rugalmasságot, tartósságot és hatékonyságot, amely szükséges ahhoz, hogy megfeleljen a mai félvezetőipar igényes igényeinek. Mivel képes Coulomb és Johnsen-Rahbek üzemmódban is működni, kezelni a magas hőmérsékletet és ellenállni a részecskék szennyeződésének, a J-R típusú ESC kritikus eleme a magasabb hozamok és a jobb folyamateredmények elérésének.