A Semicorex gyűrű alakú hornyolt alumínium-oxid tokmányok, amelyeket kifejezetten a nagy pontosságú szeletrögzítési és adszorpciós rendszerekhez terveztek, a nagy teljesítményű vákuumrögzítő alkatrészek, amelyeket csúcsminőségű félvezető lapkák gyártásához használnak. A Semicorex kiválasztása, az optimális ostya befogási megoldások kiválasztása.
A Semicorex gyűrűs hornyú alumínium-oxid tokmányok felületi szerkezete több koncentrikus gyűrű alakú horonyból áll. A vákuumszivattyúhoz csatlakoztatva ezek a hornyok gyűrű alakú negatív nyomású zónákat alkotnak, hogy stabilan tartsák a vékony lapkákat és a munkadarabokat pontos pozicionálással. A Semicorex gyűrűs hornyú alumínium-oxid tokmányok jól működnek olyan munkakörülmények között, amelyek szigorú síkosságkezelést és egyenletes eloszlású adszorpciós erőt igényelnek, amelyeket széles körben alkalmaznak az ostyatartásban, az expozíciós pozicionálásban, a plazmamaratáshoz, valamint az ostya ellenőrzési és átviteli folyamatokhoz.
A tömörítési szinterezéssel előállított alumínium-oxid kerámiák figyelemre méltó hőteljesítményt mutatnak. Ennek az anyagtulajdonságnak köszönhetően a Semicorex gyűrűs hornyú alumínium-oxid tokmányok stabilan működnek extrém magas hőmérsékletű munkakörnyezetben is, anélkül, hogy szerkezeti deformációt és teljesítményromlást okoznának hosszú távú használat során.
Semicorex gyűrűs barázdástimföld tokmányokadszorpciós felületükön több gyűrű alakú horony található, amelyekben stabil gyűrű alakú vákuumzónák alakulnak ki. Ez a konfiguráció egyenletes adszorpciós erőt tesz lehetővé a lapka fő érintkezési területein, ami így jelentősen csökkenti a lapka részleges deformációját és vetemedését.
A kiváló anyagmerevséggel és szerkezeti stabilitással büszkélkedő Semicorex gyűrűs hornyú alumínium-oxid tokmányok hosszú ideig képesek megőrizni a kiváló síkságot és az állandó pozicionálási pontosságot az ismételt vákuumbefogási műveletek során.
merttimföldA megbízható kémiai stabilitásnak köszönhetően a Semicorex gyűrűs hornyos alumínium-oxid tokmányok kiemelkedően ellenállnak a legtöbb savas és lúgos anyagnak, valamint a különböző korrozív folyamatgázoknak, és nagymértékben alkalmazkodnak a kihívást jelentő korrozív működési feltételekhez.
A szigorú anyagtisztaság-ellenőrzésnek és a tömörítési kezelésnek köszönhetően a Semicorex gyűrűs hornyú alumínium-oxid tokmányok ritkán bocsátanak ki részecskéket vagy szennyeződéseket, ami teljes mértékben megfelel a félvezető tisztaterek szigorú alacsony szennyezettségi szabványainak.
Kína iparágvezető vállalataként a Semicorex mögött integrált gyártósorok és egy jól tapasztalt műszaki csapat áll. Ügyfeleink számára személyre szabott műszaki támogatást és optimalizált folyamatmegoldásokat tudunk kínálni, valamint biztosítjuk számukra a gyűrűs hornyos alumínium-oxid tokmányaink nem szabványos, testreszabott gyártását az anyagtisztaság, a tokmány alakja, méretei, síksága, tűrései és egyéb követelményei szerint.