Hordó szuszceptor szilícium-karbid bevonatú grafit

A Semicorex hordószuszceptor szilícium-karbid bevonatú grafit egy speciális komponens, amelyet epitaxiás folyamatban való használatra terveztek, különösen ostyák szállítására. Ez a hordó szuszceptor szilícium-karbid bevonatú grafit grafit anyagból készült, amely kiváló hővezető képességéről és magas hőmérsékleti stabilitásáról ismert. A teljesítmény és a tartósság növelése érdekében a grafit felületét szilícium-karbid (SiC) réteggel vonják be.

A Barrel Susceptor szilícium-karbid bevonatú grafit szilícium-karbid bevonata számos kulcsfontosságú célt szolgál ebben az összefüggésben. Először is, egy további védőréteget biztosít az alatta lévő grafit szubsztrátumnak, megóvva azt a kémiai reakcióktól és a kopástól, amely az epitaxia során előfordulhat. Másodszor, a SiC bevonat javítja a Barrel Susceptor szilícium-karbid bevonatú grafit termikus tulajdonságait, lehetővé téve az ostyák hatékony és egyenletes melegítését. Ez az egyenletes melegítés elengedhetetlen a konzisztens és jó minőségű epitaxiális rétegek eléréséhez a félvezető lapkákon.

A Barrel Susceptor szilícium-karbid bevonatú grafit kialakítását úgy optimalizálták, hogy biztonságosan tartsa és szállítsa több ostyát az epitaxia folyamata során. Hordószerű szerkezete lehetővé teszi az ostyák könnyű be- és kirakodását, miközben biztosítja a megfelelő hőeloszlást és a hőstabilitást működés közben.

Összességében a Barrel Susceptor szilícium-karbid bevonatú grafit az epitaxiás berendezések kritikus alkatrésze, megbízhatóságot, tartósságot és precíz hőszabályozást kínál, amely elengedhetetlen a fejlett félvezető eszközök gyártásához.