Keményfém bevonatú reaktorhordó szuszceptor

A Semicorex Carbide Coated Reactor Barrel Susceptor egy prémium minőségű, nagy tisztaságú SiC bevonatú grafit termék, amelyet kifejezetten az LPE folyamatokhoz terveztek. Kiváló hő- és korrózióállóságával ez a termék tökéletes a félvezetőgyártási alkalmazásokhoz.

Kérdés küldése

termékleírás

Ha nagy teljesítményű grafit szuszceptort keres a félvezető lapkák epitaxiális rétegének kialakításához, a Semicorex keményfém bevonatú reaktorhordó szuszceptor kiváló választás. Szilícium-karbid bevonata kiváló hőeloszlást és hővezető képességet biztosít, kivételes teljesítményt biztosítva még a legigényesebb, magas hőmérsékletű környezetben is.

A Semicorexnél a kiváló minőségű, költséghatékony keményfém bevonatú reaktorhordó szuszceptor biztosítására összpontosítunk, kiemelten kezeljük az ügyfelek elégedettségét és költséghatékony megoldásokat kínálunk. Bízunk benne, hogy hosszú távú partnere lehetünk, kiváló minőségű termékeket és kivételes ügyfélszolgálatot biztosítva.

A keményfém bevonatú reaktorhordó szuszceptor paraméterei

A CVD-SIC bevonat főbb specifikációi
SiC-CVD tulajdonságai
Kristályszerkezet	FCC β fázis
Sűrűség	g/cm³	3.21
Keménység	Vickers keménység	2500
Szemcseméret	μm	2~10
Kémiai tisztaság	%	99.99995
Hőkapacitás	J kg-1 K-1	640
Szublimációs hőmérséklet	℃	2700
Felexurális Erő	MPa (RT 4 pontos)	415
Young's Modulus	Gpa (4 pont kanyar, 1300 ℃)	430
Hőtágulás (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Hővezetőképesség	(W/mK)	300

A keményfém bevonatú reaktorhordó szuszceptor jellemzői

- Mind a grafit szubsztrát, mind a szilícium-karbid réteg jó sűrűségű, és jó védő szerepet játszhat magas hőmérsékleten és korrozív munkakörnyezetben.

- Az egykristály növesztéshez használt szilícium-karbid bevonatú szuszceptor nagyon magas felületi síksággal rendelkezik.

- Csökkentse a hőtágulási együttható különbségét a grafit szubsztrát és a szilícium-karbid réteg között, hatékonyan javítja a kötési szilárdságot a repedés és a rétegvesztés megakadályozása érdekében.

- Mind a grafit szubsztrát, mind a szilícium-karbid réteg magas hővezető képességgel és kiváló hőelosztási tulajdonságokkal rendelkezik.

- Magas olvadáspont, magas hőmérsékletű oxidációállóság, korrózióállóság.