A Semicorex SiC bevonat EPI 3 1/4" hordó szuszceptor kiváló hőstabilitást és vegyi hatásokkal szembeni ellenállást biztosít, míg a grafit szubsztrát kiváló hőátadási tulajdonságokat biztosít.
A Semicorex EPI 3 1/4" hordós szuszceptor egy kiváló minőségű, nagy tisztaságú SiC bevonatú grafit termék, amely kivételes hő- és korrózióállóságot kínál. Kifejezetten a félvezető-gyártó ipar LPE-alkalmazásaihoz készült.
Az EPI 3 1/4" hordós szuszceptorainkat számos iparágban való használatra tervezték, beleértve a repülőgépgyártást, az autógyártást és az elektronikát. Elkötelezettek vagyunk amellett, hogy kiváló minőségű termékeket kínáljunk versenyképes áron, és elkötelezettek vagyunk a hosszú távú gyártás mellett. kapcsolataink ügyfeleinkkel Lépjen kapcsolatba velünk még ma, ha többet szeretne megtudni rólunkSiC bevonatúgrafittégelyek, és milyen előnyökkel járhatnak az Ön vállalkozása számára.
Az EPI 3 1/4" hordó szuszceptor paraméterei
Fő specifikációiCVD-SICBevonat |
||
SiC-CVD tulajdonságai |
||
Kristályszerkezet |
FCC β fázis |
|
Sűrűség |
g/cm³ |
3.21 |
Keménység |
Vickers keménység |
2500 |
Szemcseméret |
μm |
2~10 |
Kémiai tisztaság |
% |
99.99995 |
Hőkapacitás |
J kg-1 K-1 |
640 |
Szublimációs hőmérséklet |
℃ |
2700 |
Felexurális Erő |
MPa (RT 4 pontos) |
415 |
Young's Modulus |
Gpa (4 pont kanyar, 1300 ℃) |
430 |
Hőtágulás (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Hővezetőképesség |
(W/mK) |
300 |
Az EPI 3 1/4"-es hordóaljzat jellemzői
SiC bevonatkiváló hőstabilitást és vegyi hatásokkal szembeni ellenállást biztosít
A grafit hordozó kiváló hőátadási tulajdonságokkal rendelkezik
Nagy sűrűség és keménység
Magas kémiai tisztaságú
Magas hőkapacitás
Magas szublimációs hőmérséklet
Magas hajlítószilárdság
High Young-modulus
Alacsony hőtágulási együttható
Magas hővezető képesség