A Semicorex szilícium-karbid bevonatú hordószuszceptor egy kiváló minőségű grafit termék, amely nagy tisztaságú SiC-vel van bevonva, és kivételes hő- és korrózióállóságot kínál. Kifejezetten a félvezetőgyártó ipar LPE-alkalmazásaihoz készült.
A miénkSzilícium-karbid bevonatú hordó szuszceptorA Semicorex-től ideális megoldás az egykristályok termesztésére magas hőmérsékletű és korrozív környezetben.
A Semicorexnél a kiváló minőség és költséghatékonyság biztosítására összpontosítunkszilícium-karbid bevonattalhordó szuszceptor, kiemelten kezeljük az ügyfelek elégedettségét, és költséghatékony megoldásokat kínálunk. Bízunk benne, hogy hosszú távú partnere lehetünk, kiváló minőségű termékeket szállítva és kivételes ügyfélszolgálattal.
ParamétereiSzilícium-karbid bevonatúHordó vevő
Fő specifikációiCVD-SIC bevonat |
||
SiC-CVD tulajdonságai |
||
Kristályszerkezet |
FCC β fázis |
|
Sűrűség |
g/cm³ |
3.21 |
Keménység |
Vickers keménység |
2500 |
Szemcseméret |
μm |
2~10 |
Kémiai tisztaság |
% |
99.99995 |
Hőkapacitás |
J kg-1 K-1 |
640 |
Szublimációs hőmérséklet |
℃ |
2700 |
Felexurális Erő |
MPa (RT 4 pontos) |
415 |
Young's Modulus |
Gpa (4 pont kanyar, 1300 ℃) |
430 |
Hőtágulás (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Hővezetőképesség |
(W/mK) |
300 |
JellemzőiSzilícium-karbid bevonatúHordó vevő
- Mind a grafit szubsztrát, mind a szilícium-karbid réteg jó sűrűségű, és jó védő szerepet játszhat magas hőmérsékleten és korrozív munkakörnyezetben.
- Az egykristály növesztéshez használt szilícium-karbid bevonatú szuszceptor nagyon magas felületi síksággal rendelkezik.
- Csökkentse a hőtágulási együttható különbségét a grafit szubsztrát és a szilícium-karbid réteg között, hatékonyan javítja a kötési szilárdságot a repedés és a rétegvesztés megakadályozása érdekében.
- Mind a grafit szubsztrát, mind a szilícium-karbid réteg magas hővezető képességgel és kiváló hőelosztási tulajdonságokkal rendelkezik.
- Magas olvadáspont, magas hőmérsékletű oxidációállóság, korrózióállóság.