SiC bevonatú epitaxiális reaktorcső

A Semicorex SiC bevonatú epitaxiális reaktorhordó egy kiváló minőségű grafittermék, amely nagy tisztaságú SiC-vel van bevonva. Kiváló sűrűsége és hővezető képessége ideális választássá teszi az LPE folyamatokban való használatra, kivételes hőelosztást és védelmet biztosít korrozív és magas hőmérsékletű környezetben.

Kérdés küldése

termékleírás

Ha félvezetőgyártásról van szó, a Semicorex SiC bevonatú epitaxiális reaktorhordó a legjobb választás a kiváló teljesítmény és a kivételes hőelosztás érdekében. Ez a nagy tisztaságú SiC bevonatú grafit termék kiemelkedő korrózió- és hőállóságot biztosít, így minden alkalommal megbízható és egyenletes eredményeket biztosít.

A Semicorexnél arra összpontosítunk, hogy kiváló minőségű, költséghatékony termékeket biztosítsunk ügyfeleinknek. SiC bevonatú epitaxiális reaktorhordónk árelőnnyel rendelkezik, és számos európai és amerikai piacra exportálják. Célunk, hogy az Ön hosszú távú partnere legyünk, állandó minőségű termékeket és kivételes ügyfélszolgálatot biztosítva.

A SiC bevonatú epitaxiális reaktorhordó paraméterei

A CVD-SIC bevonat főbb specifikációi
SiC-CVD tulajdonságai
Kristályos szerkezet	FCC Î² fázis
Sűrűség	g/cm³	3.21
Keménység	Vickers keménység	2500
Szemcseméret	Î¼m	2~10
Kémiai tisztaság	%	99.99995
Hőkapacitás	J·kg-1 ·K-1	640
Szublimációs hőmérséklet	℃	2700
Felexurális Erő	MPa (RT 4 pontos)	415
Young's Modulus	Gpa (4 pt kanyar, 1300º)	430
Hőtágulás (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Hővezető	(W/mK)	300

A SiC bevonatú epitaxiális reaktorhordó jellemzői

- Mind a grafit szubsztrát, mind a szilícium-karbid réteg jó sűrűségű, és jó védő szerepet játszhat magas hőmérsékleten és korrozív munkakörnyezetben.

- Az egykristály növesztéshez használt szilícium-karbid bevonatú szuszceptor nagyon magas felületi síksággal rendelkezik.

- Csökkentse a hőtágulási együttható különbségét a grafit szubsztrát és a szilícium-karbid réteg között, hatékonyan javítja a kötési szilárdságot a repedés és a rétegvesztés megakadályozása érdekében.

- Mind a grafit szubsztrát, mind a szilícium-karbid réteg magas hővezető képességgel és kiváló hőelosztási tulajdonságokkal rendelkezik.

- Magas olvadáspont, magas hőmérsékletű oxidációállóság, korrózióállóság.