SiC bevonatú epitaxiális reaktorcső

A Semicorex SiC bevonatú epitaxiális reaktorhordó egy kiváló minőségű grafittermék, amely nagy tisztaságú SiC-vel van bevonva. Kiváló sűrűsége és hővezető képessége ideális választássá teszi az LPE folyamatokhoz, kivételes hőelosztást és védelmet biztosít korrozív és magas hőmérsékletű környezetben.

Kérdés küldése

termékleírás

Ha félvezetőgyártásról van szó, a Semicorex SiC bevonatú epitaxiális reaktorhordó a legjobb választás a kiváló teljesítmény és a kivételes hőelosztás érdekében. Ez a nagy tisztaságú SiC bevonatú grafit termék kiemelkedő korrózió- és hőállóságot biztosít, így minden alkalommal megbízható és egyenletes eredményeket biztosít.

At Semicorex, we focus on providing high-quality, cost-effective products to our customers. Our SiC Coated Epitaxial Reactor Barrel has a price advantage and is exported to many European and American markets. We aim to be your long-term partner, delivering consistent quality products and exceptional customer service.

A SiC bevonatú epitaxiális reaktorhordó paraméterei

A CVD-SIC bevonat főbb specifikációi
SiC-CVD tulajdonságai
Kristályszerkezet	FCC β fázis
Sűrűség	g/cm³	3.21
Keménység	Vickers keménység	2500
Szemcseméret	μm	2~10
Kémiai tisztaság	%	99.99995
Hőkapacitás	J kg-1 K-1	640
Szublimációs hőmérséklet	℃	2700
Felexurális Erő	MPa (RT 4 pontos)	415
Young's Modulus	Gpa (4 pont kanyar, 1300 ℃)	430
Hőtágulás (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Hővezetőképesség	(W/mK)	300

A SiC bevonatú epitaxiális reaktorhordó jellemzői

- Mind a grafit szubsztrát, mind a szilícium-karbid réteg jó sűrűségű, és jó védő szerepet játszhat magas hőmérsékleten és korrozív munkakörnyezetben.

- Szilícium-karbid bevonatú szuszceptor, amelyet egykristály növesztésre használnak, nagyon magas felületi síksággal rendelkezik.

- Csökkentse a hőtágulási együttható különbségét a grafit szubsztrát és a szilícium-karbid réteg között, hatékonyan javítja a kötési szilárdságot a repedés és a rétegvesztés megakadályozása érdekében.

- Mind a grafit szubsztrát, mind a szilícium-karbid réteg magas hővezető képességgel és kiváló hőelosztási tulajdonságokkal rendelkezik.

- Magas olvadáspont, magas hőmérsékletű oxidációállóság, korrózióállóság.