A Semicorex az Ön partnere a fejlett grafitkomponensek és -összeállítások terén, amelyek nagyobb áteresztőképességet és jobb hozamot biztosítanak a félvezető-feldolgozó berendezésekben. Anyagszakértőink készen állnak arra, hogy Önnel együtt dolgozzanak ki az ostyakezelési, fűtési és feldolgozási követelményeknek megfelelő optimális megoldást. Kerámia végeffektorunk jó árelőnnyel rendelkezik, és számos európai és amerikai piacot lefed. Bízunk benne, hogy hosszú távú partnere lehetünk Kínában.
A Ceramic End Effector a robot keze, amely félvezető lapkákat mozgat az ostyafeldolgozó berendezések és a hordozók pozíciói között. Az effektornak méretpontosnak és termikusan stabilnak kell lennie, ugyanakkor sima, kopásálló felülettel kell rendelkeznie, hogy biztonságosan kezelje az ostyákat anélkül, hogy az eszközöket károsítaná vagy részecskeszennyeződést okozna. A nagy tisztaságú szilícium-karbid kerámia végeffektorunk kiváló hőállóságot, egyenletes termikus egyenletességet biztosít az egyenletes epiréteg vastagság és ellenállás érdekében, valamint tartós vegyszerállóságot biztosít.
A Semicorexnél a kiváló minőségű, költséghatékony kerámia végeffektor biztosítására összpontosítunk, kiemelten kezeljük az ügyfelek elégedettségét, és költséghatékony megoldásokat kínálunk. Bízunk benne, hogy hosszú távú partnere lehetünk, kiváló minőségű termékeket szállítva és kivételes ügyfélszolgálattal.
A kerámia végeffektor paraméterei
A CVD-SIC bevonat főbb specifikációi |
||
SiC-CVD tulajdonságai |
||
Kristályszerkezet |
FCC β fázis |
|
Sűrűség |
g/cm³ |
3.21 |
Keménység |
Vickers keménység |
2500 |
Szemcseméret |
μm |
2~10 |
Kémiai tisztaság |
% |
99.99995 |
Hőkapacitás |
J kg-1 K-1 |
640 |
Szublimációs hőmérséklet |
℃ |
2700 |
Felexurális Erő |
MPa (RT 4 pontos) |
415 |
Young's Modulus |
Gpa (4 pont kanyar, 1300 ℃) |
430 |
Hőtágulás (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Hővezetőképesség |
(W/mK) |
300 |
A nagy tisztaságú kerámia végeffektor jellemzői
● Nagy tisztaságú SiC bevonatú grafit
● Kiváló hőállóság és termikus egyenletesség
● Finom SiC kristály bevonat a sima felületért
● Nagy tartósság a vegyszeres tisztítással szemben
● Az anyagot úgy tervezték, hogy ne forduljon elő repedések és rétegválás.