Wafer Process Heater

A Semicorex a szilícium-karbid bevonatú grafit szuszceptor nagyméretű gyártója és szállítója Kínában. A félvezetőiparra összpontosítunk, mint például a szilícium-karbid rétegekre és az epitaxiás félvezetőkre. Wafer Process Heaterünk jó árelőnnyel rendelkezik, és számos európai és amerikai piacot lefed. Bízunk benne, hogy hosszú távú partnere lehetünk.

Kérdés küldése

termékleírás

A Semicorex Wafer Process Heater szilícium-karbid bevonatú (SiC) grafitból készül, a bevonatot CVD-módszerrel hordják fel bizonyos minőségű nagy sűrűségű grafitokra, így a magas hőmérsékletű kemencében, 3000 °C felett, inert atmoszférában működhet. 2200 °C vákuumban.
A Wafer Process Heater anyag speciális tulajdonságai és kis tömege gyors felfűtést, egyenletes hőmérsékleteloszlást és kiemelkedő vezérlési pontosságot tesz lehetővé. Más anyagokhoz képest a szilícium-karbid felülete alacsony hőtágulása miatt lapos marad még gyors hőmérséklet-változás mellett is. A főzőlapok kiválóan alkalmasak a félvezető-feldolgozó rendszerek igényes folyamataira.
A Semicorexnél arra összpontosítunk, hogy kiváló minőségű, költséghatékony termékeket biztosítsunk ügyfeleinknek. Wafer Process Heaterünk árelőnnyel rendelkezik, és számos európai és amerikai piacra exportálják. Célunk, hogy az Ön hosszú távú partnere legyünk, állandó minőségű termékeket és kivételes ügyfélszolgálatot biztosítva.

A Wafer Process Heater paraméterei

Műszaki előírás	VET-M3
Térfogatsűrűség (g/cm3)	≥1,85
Hamutartalom (PPM)	≤500
Shore keménység	≥45
Fajlagos ellenállás (μ.Ω.m)	≤12
Hajlítószilárdság (Mpa)	≥40
Nyomószilárdság (Mpa)	≥70
Max. Szemcseméret (μm)	≤43
Hőtágulási együttható Mm/°C	≤4,4*10-6

A Wafer Process Heater jellemzői

- CVD SiC bevonatok az élettartam növelése érdekében.
- Magas hőmérséklet-ellenállás, korrózióállóság, hosszú élettartam, javíthatja az ostya minőségét és hozamát.
- Rendkívül alacsony hőtágulási együtthatóval, magas hőmérséklettel, magas kopásállósággal, jó szigeteléssel, jó kémiai stabilitással és közel lila (piros) látható fény behatolásával rendelkezik.

Oxidációgátló és hosszú élettartamú grafittégelyt, grafitformát és a grafitfűtő minden alkatrészét biztosítjuk.