Kerámia fókuszgyűrűk félvezetőhöz

Semicorex kerámiafókuszgyűrűA félvezetők esetében ideális megoldások a kemény plazmamaratási körülményekre szabva. A kifinomult félvezető-maratási folyamat során kulcsfontosságú a plazmaeloszlás pontos szabályozása, amely biztosítja a maratási kamra stabilitását és a félvezető maratási egyenletességét. A fejlett maratóberendezések nélkülözhetetlen alkotóelemeiként a fókuszgyűrűket jellemzően a félvezető lapkák körül helyezik el, és közvetlenül érintkeznek velük. A fókuszgyűrűk teljesítménye közvetlen hatással van a folyamat megismételhetőségére, a termékhozamra és a berendezés üzemidejére.

A Semicorex kerámia fókuszgyűrűk előnyei félvezetőhöz

1. Ultra-magas anyagtisztaság

A mi tisztaságunkCVD SiCanyaga meghaladja a 99,9995%-ot. Ezzel hatékonyan megelőzhető a maratókamra és a félvezető lapkák elégtelen anyagtisztaság miatti szennyeződése.

2.Kivételes korrózióállóság

A félvezetőkhöz való Semicorex kerámia fókuszgyűrűk CVD SiC-ből készülnek, kiválóan ellenállnak az oxidációnak, az eróziónak és a kémiai korróziónak, és különösen hatékonyak az olyan folyamatgázokkal szemben, mint a HF és a HCI, valamint a plazmagáz.

3. Kiváló ellenállási teljesítmény

A félvezetők Semicorex kerámia fókuszgyűrűinek ellenállási egyenletessége kevesebb, mint 5%.

Ellenállási tartományok: Alacsony felbontású. (<0,02 Ω·cm), középső felbontás (0,2–25 Ω·cm), nagy felbontású (>100 Ω·cm).

A Semicorex kerámia fókuszgyűrűk funkciói félvezetőhöz

1. Szabályozza és egységesítse a perem elektromos mezőjét és a plazmaeloszlást

A félvezetőkhöz készült Semicorex kerámia fókuszgyűrűk szabályozhatják az elektromos tér eloszlását a maratókamrán belül, és egyenletesebb plazmaburkolatot érhetnek el a félvezető lapkák körül, lehetővé téve a plazma számára, hogy függőlegesen és egyenletesen ütközzön a lapka felületébe. Ily módon a maratási élhatás nagymértékben csökkenthető, és a maratási pontosság jelentősen javítható.

2.Védje meg az elektrosztatikus tokmányt

A maratási folyamat során a fókuszgyűrűk védelme nélkül az elektrosztatikus tokmány ki lesz téve a nagy energiájú plazma bombázásának és eróziójának. Az elektrosztatikus tokmányok magas költségű anyagokból készülnek, rendkívül magas csereköltséggel. A fókuszgyűrűk használatával hatékonyan csökkenthető az elektrosztatikus tokmány plazmakorróziója, és minimalizálható az elektrosztatikus tokmány karbantartási és csereköltsége.