CVD SiC bevonatú kemencecsövek

Semicorex CVD SiC bevonattalkemence csöveknagy átmérőjű technológiai csövek, amelyek stabil reakciókamrát biztosítanak a félvezető lapkák magas hőmérsékletű kezelésére. Oxigént (reagens gáz), nitrogént (védőgázt) és kis mennyiségű hidrogén-kloridot tartalmazó atmoszférában való működésre készültek, stabil, 1250 Celsius fok körüli üzemi hőmérséklettel.

A Semicorex CVD SiC bevonatú kemencecsövek előnyei

1. Fejlett fröccsöntési technológia és rugalmas testreszabású gyártás

3D nyomtatási technológiával készült, SemicorexCVD SiCA bevonatos kemencecsövek varratmentes, integrált kerámia szerkezettel rendelkeznek, gyenge területek nélkül. Ez az öntési technológia kivételes gáztömör tömítést garantál, amely hatékonyan megakadályozza a külső szennyeződéseket, és fenntartja a szükséges hőmérsékletet, nyomást és légköri környezetet a félvezető lapkák feldolgozásához.

Emellett a 3D nyomtatási technológia támogatja az összetett formák előállítását és a precíz méretszabályozást is. Az egyedi gyártás átmérőre, hosszra, falvastagságra és tűrésekre különböző követelmények szerint áll rendelkezésre, hogy biztosítsa a teljes kompatibilitást az ügyfelek függőleges vagy vízszintes kemencéivel.

2. Alapos anyagválasztás és tisztasági ellenőrzés

A Semicorex CVD SiC bevonatú kemencecsövek gondosan kiválasztott, félvezető minőségű, nagy tisztaságú anyagból készülnek. Mátrixuk szennyeződéstartalmát 300 PPM alá szabályozzák, és a CVD SiC bevonat szennyezőanyag-tartalmát 5 PPM alá korlátozzák. Ez a szigorú tisztaságszabályozás jelentősen csökkenti a magas hőmérsékletű üzemi körülmények között kicsapódó fémszennyeződések okozta ostyaszennyeződést, ami nagymértékben javítja a végső félvezető eszközök hozamát és teljesítményét. Emellett a CVD SiC bevonat használata javítja a Semicorex CVD SiC bevonatú kemencecsövek magas hőmérséklettel szembeni ellenállását, kémiai korrózióállóságát és hőstabilitását, ezáltal nagymértékben meghosszabbítja élettartamukat zord üzemi körülmények között.

A számos előnnyel büszkélkedő Semicorex CVD SiC bevonatú kemencecsövek stabil, megfelelő és ultratiszta reakcióteret biztosítanak a félvezető lapkák feldolgozásához. A Semicorex CVD SiC bevonatú kemencecsövek által lehetővé tett egyenletes hőmérséklet-eloszlás és a kemencéken belüli állandó gázatmoszféra elősegíti a pontosabb adalék diffúziót, termikus oxidációt, lágyítást és vékonyréteg-lerakódást.