SiC folyamatcsövek

A Semicorex SiC technológiai csövek az oxidáció, diffúzió, RTA/RTP fontos szerkezeti elemei a félvezető gyártási folyamatban. Általában egy nagy átmérőjű cső, mint egy reaktor kemence tér, minden kémiai folyamat benne zajlik. Tehát a szilárdság és a hősokkállóság egyaránt alapvető szempont a terméknél.

A SiC technológiai csöveket aszinterezett szilícium-karbid, lehet SiSiC, SSiC vagy RSiC, és a felületen a CVD SiC bevonat, amely ultra nagy tisztaságú réteget képez. Megakadályozhatja a részecskék, hamu stb. okozta szennyezést. Az anyagnak pedig nagyon magas a hősokkállósága, így a SiC technológiai csövek stabilak maradhatnak a magas hőmérsékleti ellenállásban, és megakadályozzák, hogy a szennyeződések magas hőmérsékleten kicsapódjanak, és ezáltal szennyezzék a környezetet.

Ezeket a SiC technológiai csöveket reaktív gázt (oxigént), védőgázt (nitrogént) és minimális mennyiségű hidrogén-klorid gázt tartalmazó atmoszférában való használatra tervezték, és kiemelkedő vegyi ellenállást, termikus stabilitást és anyagtisztaságot biztosítanak 1250 °C-ig. A Semicorex SiC Process Tubes a legmodernebb 3D-nyomtatási gyártást ötvözi a kémiai gőzleválasztásos (CVD) bevonattal, hogy kiváló teljesítményt és élettartamot biztosítson a legszélsőségesebb hő- és kémiai körülmények között is.

A Semicorex SiC technológiai csöveket 3D nyomtatással integrált fröccsöntési eljárással állítják elő, nem pedig hagyományos préselt vagy összeszerelt csővel. Ez a gyártási folyamat lehetővé teszi a kerámia folyamatos, konzisztens szerkezetét kötések és gyenge területek nélkül, nagyfokú összetettséget és mérethűséget hozva létre, amely csökkenti a feszültségkoncentrációkat, miközben növeli a mechanikai szilárdságot. Ezenkívül a monolit szerkezet földgáztömör tömítést biztosít, csökkentve a szennyeződést és a szivárgást a magas hőmérsékletű folyamatok során.

ASicA test rendkívül alacsony szennyeződésű (< 300 ppm) anyag, amely kiváló anyagtisztaságot és stabilitást biztosít reaktív atmoszférában. Ezenkívül a csövet CVD szilícium-karbid réteggel (< 5 ppm) vonják be a korrózióállóság és a felületvédelem javítása érdekében.

A Semicorex személyre szabott szolgáltatást nyújt, az ügyfelek rajzai szerint tudunk gyártani, hogy megfeleljen a szükséges specifikációs követelményeknek. Így a Semicorex SiC technológiai csövek nem csak vízszintes, hanem függőleges kemencékhez is alkalmasak lehetnek.