SiC vízszintes kemencecső

A Semicorex SiC Horizontal Furnace Tube egy precíziós kerámia technológiai cső, amelyet vízszintes diffúziós és termikus feldolgozó kemencékben használnak. A cső stabil és ellenőrzött reakciókörnyezetet hoz létre a félvezető lapkák számára a magas hőmérsékletű műveletek során.

A bemutatott termék egy integrált, egy darabból álló szerkezettel rendelkezik, amelyet fejlett 3D nyomtatási technológiával készítettek. Működés közben a kemence csöve reaktív és védőgáz atmoszférának van kitéve, beleértve:

* Oxigén (reakciógáz)

* Nitrogén (védőgáz)

* Kis mennyiségű hidrogén-klorid (HCl)

Az üzemi hőmérséklet elérheti a körülbelül 1250°C-ot, ami megköveteli, hogy az anyag kiváló hőstabilitást, vegyszerállóságot és szerkezeti integritást tartson fenn hosszabb gyártási ciklusok során.

A hagyományos kvarc kemence csövekhez képestSicA kemencecsövek kiváló hővezető képességet, nagyobb mechanikai szilárdságot, valamint jelentősen javított hősokkokkal és korrozív folyamatkörülményekkel szembeni ellenállást biztosítanak.

A SiC vízszintes kemencecsövek legfontosabb jellemzői

Fejlett 3D nyomtatott integrált szerkezet

A kemencecső fejlett 3D nyomtatási egydarabos formázási technológiát alkalmaz, amely lehetővé teszi az alkatrész számára, hogy összetett geometriákat érjen el kiváló méretkonzisztenciával.

Az integrált szerkezet számos előnnyel jár:

* Csökkentett összeszerelési interfészek

* Megnövelt szerkezeti szilárdság

* Fokozott tömítési teljesítmény

* Jobb termikus egyenletesség

* Nagyobb megbízhatóság termikus ciklus során

Ez a gyártási módszer lehetővé teszi a különböző félvezető kemencerendszerek testreszabását is.

Ultra alacsony szennyeződés tartalom

A tisztaság kritikus a félvezetőgyártásban. A SiC kemencecső alapanyag-szennyezőanyag-tartalma 100 PPM alá van szabályozva, míg a CVD szilícium-karbid bevonat szennyeződéstartalma 1 PPM alatt van.

Az ultra-nagy tisztaság segít minimalizálni a szennyeződés kockázatát a félvezető feldolgozás során, stabil lapkaminőséget és jobb eszközkibocsátást biztosítva.

Az alacsony szennyeződési teljesítmény különösen fontos:

* Szilícium ostya diffúzió

* Oxidációs folyamatok

* Erőteljes félvezető gyártás

* Fejlett integrált áramkör gyártás

* Összetett félvezető feldolgozás

Magas hővezetőképesség

A szilícium-karbid kiváló hővezető képességgel rendelkezik a hagyományos kemenceanyagokhoz képest. A hatékony hőátadás lehetővé teszi, hogy a kemencecső rendkívül egyenletes hőmérséklet-eloszlást tartson fenn az egész folyamatkamrában.

Az egyenletes hőteljesítmény segít:

* Javítja a folyamat konzisztenciáját

* Csökkentse a hőmérséklet-gradienseket

* Minimalizálja az ostya stresszt

* A folyamat megismételhetőségének javítása

* Támogatja a pontos hőszabályozást

Ez különösen értékes a magas hőmérsékletű diffúziós és oxidációs folyamatokban, ahol a hőmérséklet egyenletessége közvetlenül befolyásolja az ostya minőségét.

Kiváló hősokk stabilitás

A félvezető kemencerendszerek gyakran gyors fűtési és hűtési ciklusokat tapasztalnak. A SiC vízszintes kemencecsövek kiemelkedő hőütésállóságot biztosítanak, lehetővé téve, hogy ellenálljanak a súlyos hőmérsékleti ingadozásoknak repedés vagy deformáció nélkül.

A kiváló hősokk-stabilitás növeli a működési megbízhatóságot és meghosszabbítja az élettartamot folyamatos magas hőmérsékletű gyártási körülmények között.

Erős CVD SiC bevonat tapadás

ACVD szilícium-karbid bevonatnagyon sűrű és tartós védőfelületi réteget képez, amely erősen tapad az aljzathoz.

A bevonat biztosítja:

* Kiváló korrózióállóság

* Magas kopásállóság

* Fokozott felületi tisztaság

* Kiváló kémiai stabilitás

* Megnövelt élettartam agresszív környezetben

A bevonat erős tapadása segít megelőzni a hámlást vagy a leromlást a hosszú távú működés során.

Erős savas tisztítással szembeni ellenállás

A félvezetőgyártás során a folyamatelemek gyakran rendszeres kémiai tisztítást igényelnek a lerakódott maradványok és szennyeződések eltávolítása érdekében. A SiC kemencecső kiválóan ellenáll az erős savas tisztítási folyamatoknak, stabil felületi minőséget és szerkezeti integritást tartva ismételt karbantartási ciklusok után.

Ez a jellemző csökkenti az állásidőt és támogatja a folyamat hosszú távú stabilitását.

Sic vízszintes kemencecsövek alkalmazásai

A SiC vízszintes kemencecsöveket széles körben használják a félvezető hőfeldolgozó berendezésekben, beleértve:

* Ostya oxidációs rendszerek

* Félvezető diffúziós kemencék

* Izzító berendezés

* LPCVD rendszerek

* Termikus feldolgozó kamrák

* Szilícium lapka gyártás

* Teljesítmény félvezető gyártás

* SiC és GaN félvezető feldolgozás

Különösen alkalmasak olyan magas hőmérsékletű félvezető eljárásokhoz, amelyek ultratiszta környezetet, magas hőhatékonyságot és kiváló vegyszerállóságot igényelnek.

Miért válassza a Semicorex SiC vízszintes kemencecsöveket?

A Semicorex félvezető minőségű szilícium-karbid alkatrészekre specializálódott, amelyeket az igényes hőkezelési környezetekhez terveztek. SiC vízszintes kemencecsöveink nagy tisztaságú anyagokkal, fejlett CVD bevonattechnológiával és precíziós minőségellenőrző rendszerekkel készülnek a megbízható, hosszú távú teljesítmény biztosítása érdekében.

Mi biztosítjuk:

* Nagy tisztaságúSic anyagok

* Precíziós 3D integrált gyártás

* Kiváló termikus és kémiai stabilitás

* Erős CVD bevonat tapadás

* Testreszabható méretek és szerkezetek

* Félvezető minőségű szennyeződés-ellenőrzés

* Megbízható globális műszaki támogatás

A fejlett kerámia anyagok és a félvezető eljárások terén szerzett széleskörű szakértelemmel a Semicorex olyan nagy teljesítményű SiC megoldásokat szállít, amelyek világszerte támogatják a következő generációs félvezetőgyártást.