CVD SiC bevonatú felső köszörült gyűrűk

CVD SiCA bevonattal ellátott felső földelőgyűrűket jellemzően a reakciókamra felső részébe szerelik be a plazmamaró berendezésben, az ostya elektrosztatikus tokmány körül. A CVD SiC bevonatú felső földelt gyűrűk létfontosságúak a teljes maratórendszer számára, amelyek fizikai akadályként szolgálhatnak az eszköz alkatrészeinek plazmatámadástól való védelmében, valamint szabályozhatják a belső elektromos mezőt, és korlátozzák a plazma eloszlási tartományát az egyenletes maratási eredmény biztosítása érdekében.

A plazmamaratás a félvezetőgyártásban széles körben alkalmazott szárazmaratási technológia, amely a plazma és a félvezető anyagok felülete közötti fizikai és kémiai kölcsönhatások felhasználásával bizonyos területek szelektív eltávolítására szolgál, így precíziós szerkezetek feldolgozását valósítja meg. A plazmamaratás igényes környezetében a nagy energiájú plazma agresszív korróziót okoz, és megtámadja a reakciókamrában lévő alkatrészeket. A megbízható és hatékony működés érdekében a kamraelemeknek kiváló korrózióállósággal, mechanikai tulajdonságokkal és alacsony szennyeződési jellemzőkkel kell rendelkezniük. A Semicorex CVD SiC bevonatú felső köszörült gyűrűk tökéletesen megfelelnek ezeknek a durva, nagy korróziónak kitett működési környezeteknek.

Megbízható CVD SiC bevonat

A kemény maratási körülmények között való jobb teljesítmény érdekében a Semicorex CVD SiC bevonatú felső csiszolt gyűrűket nagy teljesítményű CVD SiC bevonat borítja, amely tovább növeli teljesítményüket és tartósságukat.

1. Ultra-nagy tisztaságú

ASiC bevonatA CVD-eljárással előállított kiváló tömörítési tulajdonságok rendkívül nagy tisztaságúak (a tisztaság meghaladja a 99,9999%-ot), ami megakadályozhatja a Semicorex CVD SiC bevonatú felső őrölt gyűrűket a nagy energiájú plazmatámadástól maratási alkalmazásoknál, ezáltal elkerülhető a mátrixokból származó szennyező részecskék által okozott szennyeződés.

2. Javított korrózióállóság

A CVD-eljárással előállított SiC bevonat javított korrózióállóságot biztosít, így a Semicorex CVD SiC bevonatú felső köszörült gyűrűk hatékonyan ellenállnak a plazmából származó kihívást jelentő korróziónak (különösen a korrozív gázok, például a halogének és a fluor esetében).

3. Fokozott mechanikai tulajdonságok

A Semicorex CVD SiC bevonatú felső köszörült gyűrűk a CVD SiC bevonat fokozott keménységének és kopásállóságának köszönhetően deformáció vagy törés nélkül elviselik az intenzív plazmabombázást, mechanikai igénybevételt és gyakori kezelést.

Magas színvonalú feldolgozás és minőségellenőrzés

A félvezető maratási körülményeihez való tökéletes alkalmazkodás érdekében a Semicorex CVD SiC bevonatú felső köszörült gyűrűk precíziós megmunkáláson és szigorú ellenőrzésen esnek át.

Felületkezelés: Polírozási pontosság Ra < 0,1 µm; a finom köszörülési pontosság Ra > 0,1 µm

A feldolgozási pontosság ≤ 0,03 mm-en belül szabályozható

Minőségellenőrzés:

A Semicorex szilárd CVD SiC gyűrűket ICP-MS (induktív csatolású plazma tömegspektrometria) analízisnek vetik alá. A Semicorex szilárd CVD SiC gyűrűket méretmérésnek, ellenállástesztnek és szemrevételezésnek vetik alá, ami garantálja, hogy a termékek mentesek a forgácsoktól, karcolásoktól, repedésektől, foltoktól és egyéb hibáktól.