Diffúziós kemence cső

A Semicorex Diffusion Furnace Tube a félvezetőgyártó berendezések kulcsfontosságú eleme, amelyet kifejezetten a félvezetőgyártási folyamatokhoz elengedhetetlen precíz és ellenőrzött reakciók elősegítésére terveztek. A diffúziós kemencecső a félvezető kemence reakciózónájában elsődleges tartályként kulcsszerepet játszik az előállított félvezető eszközök integritásának és minőségének biztosításában. A Semicorex elkötelezett amellett, hogy minőségi termékeket kínáljon versenyképes áron, ezért várjuk, hogy hosszú távú partnere lehessünk Kínában.

Kérdés küldése

termékleírás

A diffúziós kemence cső általában nagy tisztaságú kvarcból vagy SiC-ből készül, mindkettő kivételes hőstabilitást és kémiai reakciókkal szembeni ellenállást mutat. Ez azért fontos, mert a diffúziós kemencecső nem juttathat szennyeződéseket a feldolgozott félvezető anyagokba. Még a legkisebb szennyeződések is jelentős káros hatással lehetnek a gyártott félvezető eszközök teljesítményére és megbízhatóságára.

A diffúziós kemencecső felépítéséhez használt anyagokat nagy tisztaságukra választják meg, hogy megakadályozzák a félvezető lapkák feldolgozás közbeni szennyeződését. A diffúziós kemence cső ellenáll a félvezető feldolgozás során fellépő szélsőséges hőmérsékleteknek anélkül, hogy deformálná vagy veszélyeztetné szerkezeti integritását. Ez biztosítja a folyamatos és megbízható teljesítményt hosszú üzemidőn keresztül. A diffúziós kemencecső a hőstabilitáson kívül ellenáll a félvezető-feldolgozás során használt vegyszerek és gázok korrozív hatásainak is. Ez megakadályozza a cső leépülését az idő múlásával és biztosítja a hosszú élettartamot.

Egyes diffúziós kemence csövek speciális anyagokból készült bélésekkel rendelkezhetnek, hogy tovább javítsák teljesítményüket, vagy további védelmet nyújtsanak a szennyeződések vagy kémiai reakciók ellen. Ezeket a béléseket gondosan választották ki, hogy kiegészítsék a cső anyagának tulajdonságait és a félvezetőgyártási folyamat speciális követelményeit.