SiC fókuszgyűrűk

A Semicorex fejlett, nagy tisztaságú SiC fókuszgyűrűit úgy építették meg, hogy ellenálljanak a szélsőséges környezeti hatásoknak a plazmamarás (vagy szárazmarás) kamrákban. A félvezetőiparra összpontosítunk, mint például a szilícium-karbid rétegekre és az epitaxiás félvezetőkre. Termékeink jó árelőnnyel rendelkeznek, és számos európai és amerikai piacot lefednek. Bízunk benne, hogy hosszú távú partnere lehetünk Kínában.

Kérdés küldése

termékleírás

A Semicorex szállítja a SiC Focus Rings-t, amely igazán stabil RTA, RTP vagy durva vegyszeres tisztításhoz. A SiC fókuszgyűrűket vagy élgyűrűket úgy tervezték, hogy javítsák a maratási egyenletességet a lapka széle vagy kerülete körül. Minimalizálja a szennyeződést és az előre nem tervezett karbantartást a nagy tisztaságú alkatrészekkel, amelyeket a plazmamarás feldolgozási nehézségeihez terveztek. SiC bevonattal ellátott SiC fókuszgyűrűink egy sűrű, kopásálló szilícium-karbid (SiC) bevonat. Magas korrózió- és hőállósági tulajdonságokkal, valamint kiváló hővezető képességgel rendelkezik. A SiC-t vékony rétegekben visszük fel a grafitra kémiai gőzfázisú leválasztás (CVD) eljárással.

A SiC fókuszgyűrűk paraméterei

A CVD-SIC bevonat főbb specifikációi
SiC-CVD tulajdonságai
Kristályszerkezet	FCC β fázis
Sűrűség	g/cm³	3.21
Keménység	Vickers keménység	2500
Szemcseméret	μm	2~10
Kémiai tisztaság	%	99.99995
Hőkapacitás	J kg-1 K-1	640
Szublimációs hőmérséklet	℃	2700
Felexurális Erő	MPa (RT 4 pontos)	415
Young's Modulus	Gpa (4 pont kanyar, 1300 ℃)	430
Hőtágulás (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Hővezetőképesség	(W/mK)	300

A SiC fókuszgyűrűk jellemzői

- CVD szilícium-karbid bevonatok az élettartam növelése érdekében.

- Nagy teljesítményű tisztított merev szénből készült hőszigetelés.

- Szén/szén kompozit fűtőtest és lemez. - Mind a grafit szubsztrát, mind a szilícium-karbid réteg magas hővezető képességgel és kiváló hőelosztási tulajdonságokkal rendelkezik.

- Nagy tisztaságú grafit és SiC bevonat a lyukállóság és a hosszabb élettartam érdekében