Plazmafeldolgozó fókuszgyűrű

A Semicorex plazma-feldolgozó fókuszgyűrűt kifejezetten úgy tervezték, hogy megfeleljen a félvezetőiparban a plazmamaratási feldolgozás magas követelményeinek. Speciális, nagy tisztaságú szilícium-karbid bevonatú alkatrészeink úgy készültek, hogy ellenálljanak a szélsőséges környezeti hatásoknak, és különféle alkalmazásokban használhatók, beleértve a szilícium-karbid rétegeket és az epitaxiás félvezetőket.

Kérdés küldése

termékleírás

Plazmafeldolgozó fókuszgyűrűnk rendkívül stabil RTA, RTP vagy durva vegyszeres tisztításhoz, így ideális választás plazmamarás (vagy szárazmarás) kamrákhoz. Úgy tervezték, hogy javítsa a maratási egyenletességet a lapka szélén vagy kerületén, fókuszgyűrűinket vagy élgyűrűinket úgy tervezték, hogy minimalizálják a szennyeződést és a nem tervezett karbantartást.

A SiC Coating egy sűrű, kopásálló szilícium-karbid bevonat, magas korrózió- és hőállósági tulajdonságokkal, valamint kiváló hővezető képességgel. A SiC-t vékony rétegekben visszük fel a grafitra kémiai gőzfázisú leválasztás (CVD) eljárással. Ez biztosítja, hogy SiC Focus gyűrűink kiváló minőségűek és tartósak legyenek, így megbízható választás a plazmamarás feldolgozási igényeihez.

Lépjen kapcsolatba velünk még ma, ha többet szeretne megtudni plazmafeldolgozó fókuszgyűrűnkről.

A plazmafeldolgozás fókuszgyűrűjének paraméterei

A CVD-SIC bevonat főbb specifikációi
SiC-CVD tulajdonságai
Kristályos szerkezet	FCC Î² fázis
Sűrűség	g/cm³	3.21
Keménység	Vickers keménység	2500
Szemcseméret	Î¼m	2~10
Kémiai tisztaság	%	99.99995
Hőkapacitás	J·kg-1 ·K-1	640
Szublimációs hőmérséklet	℃	2700
Felexurális Erő	MPa (RT 4 pontos)	415
Young's Modulus	Gpa (4 pt kanyar, 1300º)	430
Hőtágulás (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Hővezető	(W/mK)	300

A plazma feldolgozó fókuszgyűrű jellemzői

- CVD szilícium-karbid bevonatok az élettartam növelése érdekében.

- Nagy teljesítményű tisztított merev szénből készült hőszigetelés.

- Szén/szén kompozit fűtőtest és lemez.- Mind a grafit szubsztrátum, mind a szilícium-karbid réteg magas hővezető képességgel és kiváló hőelosztási tulajdonságokkal rendelkezik.

- Nagy tisztaságú grafit és SiC bevonat a lyukállóság és a hosszabb élettartam érdekében