MOCVD bemeneti gyűrűk

A Semicorex a szilícium-karbid bevonatú grafit nagyméretű gyártója és szállítója Kínában. MOCVD bemeneti gyűrűink jó árelőnnyel rendelkeznek, és számos európai és amerikai piacot lefednek. Bízunk benne, hogy hosszú távú partnere lehetünk.

Kérdés küldése

termékleírás

A Semicorex a leválasztáshoz és az ostyafeldolgozáshoz használt MOCVD bemeneti gyűrűket szállítja, amelyek igazán stabilak RTA, RTP vagy durva vegyszeres tisztításhoz. MOCVD bemeneti gyűrűink nagy tisztaságú szilícium-karbid (SiC) bevonatú grafit konstrukcióval rendelkeznek, amely kiváló hőállóságot, egyenletes termikus egyenletességet biztosít az egyenletes epiréteg vastagság és ellenállás érdekében, valamint tartós vegyszerállóságot. A finom SiC kristály bevonat tiszta, sima felületet biztosít, ami kritikus a kezeléshez, mivel az érintetlen ostyák a teljes területükön számos ponton érintkeznek a szuszceptorral.

A Semicorexnél a kiváló minőségű, költséghatékony MOCVD bemeneti gyűrűk biztosítására összpontosítunk, kiemelten kezeljük az ügyfelek elégedettségét, és költséghatékony megoldásokat kínálunk. Bízunk benne, hogy hosszú távú partnere lehetünk, kiváló minőségű termékeket szállítva és kivételes ügyfélszolgálattal.

A MOCVD bemeneti gyűrűk paraméterei

A CVD-SIC bevonat főbb specifikációi
SiC-CVD tulajdonságai
Kristályszerkezet	FCC β fázis
Sűrűség	g/cm³	3.21
Keménység	Vickers keménység	2500
Szemcseméret	μm	2~10
Kémiai tisztaság	%	99.99995
Hőkapacitás	J kg-1 K-1	640
Szublimációs hőmérséklet	℃	2700
Felexurális Erő	MPa (RT 4 pontos)	415
Young's Modulus	Gpa (4 pont kanyar, 1300 ℃)	430
Hőtágulás (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Hővezetőképesség	(W/mK)	300