Tartós SiC bevonatú hordó szuszceptor

Kiváló sűrűségével és hővezető képességével a Semicorex Durable SiC bevonatú hordószuszceptor ideális választás epitaxiális folyamatokhoz és más félvezetőgyártási alkalmazásokhoz. Nagy tisztaságú SiC bevonata kiváló védelmet és hőelosztási tulajdonságokat biztosít, így ez a választás a megbízható és egyenletes eredmények érdekében.

Kérdés küldése

termékleírás

Ha kiváló minőségű, kiváló hő- és korrózióállósággal rendelkező grafit szuszceptorra van szüksége, ne keressen tovább, mint a Semicorex Durable SiC bevonatú hordós szuszceptor. Szilícium-karbid bevonata kivételes hővezető képességet és hőeloszlást biztosít, megbízható és egyenletes teljesítményt biztosítva még a legigényesebb, magas hőmérsékletű környezetben is.
Tartós SiC bevonatú hordó szuszceptorunkat úgy tervezték, hogy a legjobb lamináris gázáramlási mintát érje el, biztosítva a hőprofil egyenletességét. Ez segít megelőzni a szennyeződéseket vagy a szennyeződések diffúzióját, és biztosítja a jó minőségű epitaxiális növekedést az ostya chipen.
Lépjen kapcsolatba velünk még ma, ha többet szeretne megtudni a tartós SiC bevonatú hordószuceptorunkról.

A tartós SiC bevonatú hordó szuszceptor paraméterei

A CVD-SIC bevonat főbb specifikációi
SiC-CVD tulajdonságai
Kristályszerkezet	FCC β fázis
Sűrűség	g/cm³	3.21
Keménység	Vickers keménység	2500
Szemcseméret	μm	2~10
Kémiai tisztaság	%	99.99995
Hőkapacitás	J kg-1 K-1	640
Szublimációs hőmérséklet	℃	2700
Felexurális Erő	MPa (RT 4 pontos)	415
Young's Modulus	Gpa (4 pont kanyar, 1300 ℃)	430
Hőtágulás (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Hővezetőképesség	(W/mK)	300

A tartós SiC bevonatú hordó szuszceptor jellemzői

- Mind a grafit szubsztrát, mind a szilícium-karbid réteg jó sűrűségű, és jó védő szerepet játszhat magas hőmérsékleten és korrozív munkakörnyezetben.

- Szilícium-karbid bevonatú szuszceptor, amelyet egykristály növesztésre használnak, nagyon magas felületi síksággal rendelkezik.

- Csökkentse a hőtágulási együttható különbségét a grafit szubsztrát és a szilícium-karbid réteg között, hatékonyan javítja a kötési szilárdságot a repedés és a rétegvesztés megakadályozása érdekében.

- Mind a grafit szubsztrát, mind a szilícium-karbid réteg magas hővezető képességgel és kiváló hőelosztási tulajdonságokkal rendelkezik.

- Magas olvadáspont, magas hőmérsékletű oxidációállóság, korrózióállóság.