Gázbevezető gyűrű félvezető berendezésekhez

A Semicorex a szilícium-karbid bevonatú grafit szuszceptor nagyméretű gyártója és szállítója Kínában. A félvezető iparágakra összpontosítunk, például a szilícium-karbid rétegekre és az epitaxiás félvezetőkre. A félvezető berendezésekhez készült gázbevezető gyűrűnk jó árelőnnyel rendelkezik, és számos európai és amerikai piacot lefed. Bízunk benne, hogy hosszú távú partnere lehetünk Kínában.

Kérdés küldése

termékleírás

A Semicorex gázbevezető gyűrű a félvezető berendezésekhez SiC bevonatú, amely egy sűrű, kopásálló szilícium-karbid (SiC) bevonat. Magas korrózió- és hőállósági tulajdonságokkal, valamint kiváló hővezető képességgel rendelkezik. A SiC-t vékony rétegekben visszük fel a grafitra kémiai gőzleválasztásos (CVD) eljárással.

A félvezető berendezésekhez való gázbemeneti gyűrűnket úgy tervezték, hogy a legjobb lamináris gázáramlási mintát érje el, biztosítva a hőprofil egyenletességét. Ez segít megelőzni a szennyeződéseket vagy a szennyeződések diffúzióját, biztosítva a jó minőségű epitaxiális növekedést az ostya chipen.

Lépjen kapcsolatba velünk még ma, ha többet szeretne megtudni a félvezető berendezésekhez való gázbemeneti gyűrűnkről.

A félvezető berendezések gázbemeneti gyűrűjének paraméterei

A CVD-SIC bevonat főbb specifikációi
SiC-CVD tulajdonságai
Kristályos szerkezet	FCC Î² fázis
Sűrűség	g/cm³	3.21
Keménység	Vickers keménység	2500
Szemcseméret	Î¼m	2~10
Kémiai tisztaság	%	99.99995
Hőkapacitás	J·kg-1 ·K-1	640
Szublimációs hőmérséklet	℃	2700
Felexurális Erő	MPa (RT 4 pontos)	415
Young's Modulus	Gpa (4 pt kanyar, 1300º)	430
Hőtágulás (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Hővezető	(W/mK)	300