Magas hőmérsékletű SiC bevonatú hordó szuszceptor

Ami a félvezetőgyártást illeti, a Semicorex magas hőmérsékletű SiC bevonatú hordó szuszceptor a legjobb választás a kiváló teljesítmény és megbízhatóság érdekében. Kiváló minőségű SiC bevonata és kivételes hővezető képessége ideálissá teszi a legigényesebb, magas hőmérsékletű és korrozív környezetben való használatra.

Kérdés küldése

termékleírás

A Semicorex magas hőmérsékletű SiC bevonatú hordó szuszceptor tökéletes választás egykristály növekedéshez és más félvezetőgyártási alkalmazásokhoz, amelyek nagy hő- és korrózióállóságot igényelnek. Szilícium-karbid bevonata kiváló védelmet és hőelosztási tulajdonságokat biztosít, megbízható és egyenletes teljesítményt biztosítva még a legnagyobb kihívást jelentő környezetben is.

A Semicorexnél a kiváló minőségű, költséghatékony, magas hőmérsékletű SiC bevonatú hordószuszceptor biztosítására összpontosítunk, kiemelten kezeljük az ügyfelek elégedettségét és költséghatékony megoldásokat kínálunk. Bízunk benne, hogy hosszú távú partnere lehetünk, kiváló minőségű termékeket szállítva és kivételes ügyfélszolgálattal.

A magas hőmérsékletű SiC bevonatú hordó szuszceptor paraméterei

A CVD-SIC bevonat főbb specifikációi
SiC-CVD tulajdonságai
Kristályos szerkezet	FCC Î² fázis
Sűrűség	g/cm³	3.21
Keménység	Vickers keménység	2500
Szemcseméret	Î¼m	2~10
Kémiai tisztaság	%	99.99995
Hőkapacitás	J·kg-1 ·K-1	640
Szublimációs hőmérséklet	℃	2700
Felexurális Erő	MPa (RT 4 pontos)	415
Young's Modulus	Gpa (4 pt kanyar, 1300º)	430
Hőtágulás (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Hővezető	(W/mK)	300

A magas hőmérsékletű SiC bevonatú hordó szuszceptor jellemzői

- Mind a grafit szubsztrát, mind a szilícium-karbid réteg jó sűrűségű, és jó védő szerepet játszhat magas hőmérsékleten és korrozív munkakörnyezetben.

- Szilícium-karbid bevonatú szuszceptor, amelyet egykristály növesztésre használnak, nagyon magas felületi síkságú.

- Csökkentse a hőtágulási együttható különbségét a grafit szubsztrát és a szilícium-karbid réteg között, hatékonyan javítja a kötési szilárdságot a repedés és a rétegvesztés megakadályozása érdekében.

- Mind a grafit szubsztrát, mind a szilícium-karbid réteg magas hővezető képességgel és kiváló hőelosztási tulajdonságokkal rendelkezik.

- Magas olvadáspont, magas hőmérsékletű oxidációállóság, korrózióállóság.