Magas hőmérsékletű SiC bevonatú hordó szuszceptor

Ami a félvezetőgyártást illeti, a Semicorex magas hőmérsékletű SiC bevonatú hordó szuszceptor a legjobb választás a kiváló teljesítmény és megbízhatóság érdekében. Kiváló minőségű SiC bevonata és kivételes hővezető képessége ideálissá teszi a legigényesebb, magas hőmérsékletű és korrozív környezetben való használatra.

Kérdés küldése

termékleírás

A Semicorex magas hőmérsékletű SiC bevonatú hordó szuszceptor tökéletes választás egykristály növekedéshez és más félvezetőgyártási alkalmazásokhoz, amelyek nagy hő- és korrózióállóságot igényelnek. Szilícium-karbid bevonata kiváló védelmet és hőelosztási tulajdonságokat biztosít, megbízható és egyenletes teljesítményt biztosítva még a legnagyobb kihívást jelentő környezetben is.

A Semicorexnél a kiváló minőségű, költséghatékony, magas hőmérsékletű SiC bevonatú hordószuszceptor biztosítására összpontosítunk, kiemelten kezeljük a vevői elégedettséget és költséghatékony megoldásokat kínálunk. Bízunk benne, hogy hosszú távú partnere lehetünk, kiváló minőségű termékeket és kivételes ügyfélszolgálatot biztosítva.

A magas hőmérsékletű SiC bevonatú hordó szuszceptor paraméterei

A CVD-SIC bevonat főbb specifikációi
SiC-CVD tulajdonságai
Kristályszerkezet	FCC β fázis
Sűrűség	g/cm³	3.21
Keménység	Vickers keménység	2500
Szemcseméret	μm	2~10
Kémiai tisztaság	%	99.99995
Hőkapacitás	J kg-1 K-1	640
Szublimációs hőmérséklet	℃	2700
Felexurális Erő	MPa (RT 4 pontos)	415
Young's Modulus	Gpa (4 pont kanyar, 1300 ℃)	430
Hőtágulás (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Hővezetőképesség	(W/mK)	300

A magas hőmérsékletű SiC bevonatú hordó szuszceptor jellemzői

- Mind a grafit szubsztrát, mind a szilícium-karbid réteg jó sűrűségű, és jó védő szerepet játszhat magas hőmérsékleten és korrozív munkakörnyezetben.

- Az egykristály növesztéshez használt szilícium-karbid bevonatú szuszceptor nagyon magas felületi síksággal rendelkezik.

- Csökkentse a hőtágulási együttható különbségét a grafit szubsztrát és a szilícium-karbid réteg között, hatékonyan javítja a kötési szilárdságot a repedés és a rétegvesztés megakadályozása érdekében.

- Mind a grafit szubsztrát, mind a szilícium-karbid réteg magas hővezető képességgel és kiváló hőelosztási tulajdonságokkal rendelkezik.

- Magas olvadáspont, magas hőmérsékletű oxidációállóság, korrózióállóság.