A Semicorex vízszintes szilícium-karbid csónakok az élvonalbeli félvezető-gyártási folyamatok nélkülözhetetlen vízszintes szelethordozói, amelyeket precíziósan gyártanak prémium félvezető minőségű szilícium-karbidból. Kiterjedt és jól bevált gyártási képességeivel a Semicorex kiváló ügyfeleink számára rendkívül kompatibilis, egyedi tervezésű vízszintes szilícium-karbid hajókat tud biztosítani.
Semicorex vízszintesszilícium-karbid csónakok3D nyomtatási technológiával integráltan alakítják ki, majd magas hőmérsékletű szintereléssel készülnek. Különböző magas hőmérsékletű vízszintes kemenceméretekhez készültek, ezeket az alkatrészeket széles körben alkalmazzák a lapkák szilárdan történő megtartására a kritikus, magas hőmérsékletű félvezetőgyártási folyamatokban, beleértve a diffúziót, oxidációt és kémiai gőzleválasztást.
| Tulajdonságok |
Semicorex vízszintes szilícium-karbid csónakok |
| Térfogatsűrűség |
3,05 g/cm³ |
| Részecskék |
3 μm |
| Hajlítóerő |
260 MPa |
| Nyomószilárdság |
500 MPa |
| Hőtágulási együttható (szobahőmérséklet 1000 ℃-ig) |
4,3*10-6 |
| Tisztaság |
5,38 ppm |
| Szakító modulus |
354 Gpa |
| Hővezetőképesség |
135 W/(m·K) |

A páratlan anyagszilárdság és keménység a Semicorex vízszintes szilícium-karbid csónakokat kiváló tartóképességet biztosít, amely lehetővé teszi több ostya egyidejű stabil szállítását. A precíziós résmegmunkálás révén a Semicorex vízszintes szilícium-karbid csónakok szilárdan rögzíthetik és biztonságosan tartják a félvezető lapkákat. Az egyenletesen elosztott résszerkezet biztosítja, hogy a lapkák a teljes feldolgozási ciklus alatt fix pozícióban maradjanak, ezáltal garantálva a félvezetőgyártási folyamatok következetességét és pontosságát.
Kiváló magas hőmérséklet- és korrózióállóságuknak köszönhetően a Semicorex vízszintes szilícium-karbid csónakok képesek ellenállni a szigorú működési környezeteknek, például a magas hőmérsékletű oxigén-, nitrogén- vagy alacsony koncentrációjú hidrogén-klorid-atmoszférának. Ezek a kivételes anyagtulajdonságok hatékonyan megelőzhetik a korróziót és a magas hőmérsékletű korrozív gázok által okozott károkat, amelyek nagymértékben meghosszabbítják a hajók élettartamát.
A hagyományos szilícium-karbid bevonatú grafit csónakoktól eltérően a Semicorex vízszintes szilícium-karbid csónakok félvezető minőségű, nagy tisztaságú anyagból készülnek.szilícium-karbid(99,999%) rendkívül alacsony szennyezőanyag-tartalommal. Ez a prémium minőségű anyagválaszték kiküszöböli a szennyező anyagok kipárolgását vagy a bevonat leválásának kockázatát, még akkor is, ha magas hőmérsékletnek és durva korrozív környezetnek van kitéve. Ezenkívül minden szilícium-karbid csónakunkat szigorú ultrahangos tisztítási eljárásnak vetik alá a vákuumcsomagolás előtt, ami garantálja a fejlett félvezető-gyártási eljárások által megkövetelt tisztasági szabványoknak való megfelelést.