Induktív fűtésű hordós Epi rendszer

Ha kivételes hővezető képességű és hőeloszlási tulajdonságokkal rendelkező grafit szuszceptorra van szüksége, ne keressen tovább, mint a Semicorex induktív fűtésű hordós Epi rendszer. Nagy tisztaságú SiC bevonata kiváló védelmet nyújt magas hőmérsékleten és korrozív környezetben, így ideális választás a félvezetőgyártási alkalmazásokhoz.

Kérdés küldése

termékleírás

A Semicorex induktív fűtésű hordós Epi rendszer tökéletes választás olyan félvezetőgyártási alkalmazásokhoz, amelyek kivételes hőelosztást és hővezető képességet igényelnek. Nagy tisztaságú SiC bevonata és kiváló sűrűsége kiváló védelmet és hőelosztási tulajdonságokat biztosít, megbízható és egyenletes teljesítményt biztosítva még a legnagyobb kihívást jelentő környezetben is.
A Semicorexnél arra összpontosítunk, hogy kiváló minőségű, költséghatékony termékeket biztosítsunk ügyfeleinknek. Induktív fűtésű hordós Epi rendszerünk árelőnnyel rendelkezik, és számos európai és amerikai piacra exportálják. Célunk, hogy az Ön hosszú távú partnere legyünk, állandó minőségű termékeket és kivételes ügyfélszolgálatot biztosítva.

Az induktív fűtésű hordós Epi rendszer paraméterei

A CVD-SIC bevonat főbb specifikációi
SiC-CVD tulajdonságai
Kristályszerkezet	FCC β fázis
Sűrűség	g/cm³	3.21
Keménység	Vickers keménység	2500
Szemcseméret	μm	2~10
Kémiai tisztaság	%	99.99995
Hőkapacitás	J kg-1 K-1	640
Szublimációs hőmérséklet	℃	2700
Felexurális Erő	MPa (RT 4 pontos)	415
Young's Modulus	Gpa (4 pont kanyar, 1300 ℃)	430
Hőtágulás (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Hővezetőképesség	(W/mK)	300

Az induktív fűtésű hordós Epi rendszer jellemzői

- Mind a grafit szubsztrát, mind a szilícium-karbid réteg jó sűrűségű, és jó védő szerepet játszhat magas hőmérsékleten és korrozív munkakörnyezetben.

- Az egykristály növesztéshez használt szilícium-karbid bevonatú szuszceptor nagyon magas felületi síksággal rendelkezik.

- Csökkentse a hőtágulási együttható különbségét a grafit szubsztrát és a szilícium-karbid réteg között, hatékonyan javítja a kötési szilárdságot a repedés és a rétegvesztés megakadályozása érdekében.

- Mind a grafit szubsztrát, mind a szilícium-karbid réteg magas hővezető képességgel és kiváló hőelosztási tulajdonságokkal rendelkezik.

- Magas olvadáspont, magas hőmérsékletű oxidációállóság, korrózióállóság.