Induktív fűtésű hordós Epi rendszer az LPE epitaxiához

Az LPE Epitaxy Semicorex induktívan fűtött hordós Epi rendszere tökéletes választás olyan félvezetőgyártási alkalmazásokhoz, amelyek kivételes hőelosztást és hővezető képességet igényelnek. Nagy tisztaságú SiC bevonata és kiváló sűrűsége kiváló védelmet és hőelosztási tulajdonságokat biztosít, megbízható és egyenletes teljesítményt biztosítva még a legnagyobb kihívást jelentő környezetben is.

A Semicorexnél arra összpontosítunk, hogy kiváló minőségű, költséghatékony termékeket biztosítsunk ügyfeleinknek. Az LPE Epitaxyhoz készült induktív fűtésű hordós Epi rendszerünk árelőnnyel rendelkezik, és számos európai és amerikai piacra exportálják. Célunk, hogy az Ön hosszú távú partnere legyünk, állandó minőségű termékeket és kivételes ügyfélszolgálatot biztosítva.

Az induktív fűtésű hordós Epi rendszer paraméterei LPE epitaxiához

Az induktív fűtésű hordós Epi rendszer jellemzői az LPE epitaxiához

- Mind a grafit szubsztrát, mind a szilícium-karbid réteg jó sűrűségű, és jó védő szerepet játszhat magas hőmérsékleten és korrozív munkakörnyezetben.

- Szilícium-karbid bevonatú szuszceptor, amelyet egykristály növesztésre használnak, nagyon magas felületi síkságú.

- Csökkentse a hőtágulási együttható különbségét a grafit szubsztrát és a szilícium-karbid réteg között, hatékonyan javítja a kötési szilárdságot a repedés és a rétegvesztés megakadályozása érdekében.

- Mind a grafit szubsztrát, mind a szilícium-karbid réteg magas hővezető képességgel és kiváló hőelosztási tulajdonságokkal rendelkezik.

- Magas olvadáspont, magas hőmérsékletű oxidációállóság, korrózióállóság.