Litográfiai gép csontváza

A Semicorex litográfiai gép váza a kivételes anyagtulajdonságokat ötvözi, hogy megfeleljen a félvezetőgyártás szigorú követelményeinek. A SiC kiváló merevséget és merevséget biztosít, minimális deformációt biztosítva mechanikai igénybevétel esetén. Ez kulcsfontosságú a pontos igazítás és pontosság megőrzéséhez a litográfiai folyamat során.

A szilícium-karbid kiváló hőstabilitást mutat, ellenáll a magas hőmérsékletnek jelentős tágulás vagy összehúzódás nélkül. A litográfiai gépváznak ez a stabilitása létfontosságú az állandó teljesítmény és pontosság megőrzéséhez ingadozó hőmérsékletű környezetben. A SiC alacsony hőtágulási együtthatója segít minimalizálni a méretváltozásokat, biztosítva, hogy a litográfiai gép csontváza stabil és pontos maradjon a hőciklus során.

A szilícium-karbid alapú litográfiai gépvázat fejlett fotolitográfiai berendezésekben való használatra tervezték, különösen a félvezetőiparban. Feladata, hogy olyan robusztus és stabil keretrendszert biztosítson, amely támogatja az olyan kritikus komponenseket, mint az optikai rendszerek, színpadok és egyéb precíziós műszerek.

A szilícium-karbid használata a litográfiai gép vázához a nagy merevség, hőstabilitás, vegyszerállóság és könnyű szilárdság kombinációját hozza létre. Ezek a tulajdonságok ideális választássá teszik a félvezető eszközök gyártásához szükséges pontosság és megbízhatóság biztosításához.