Ha kiváló minőségű, nagy tisztaságú SiC bevonatú grafit szuszceptort keres, a Semicorex hordószuszceptor félvezető SiC bevonattal a tökéletes választás. Kivételes hővezető képessége és hőeloszlási tulajdonságai ideálissá teszik a félvezetőgyártási alkalmazásokhoz.
A Semicorex Barrel Susceptor SiC bevonattal a Semiconductorban egy prémium minőségű grafit termék, nagy tisztaságú SiC bevonattal, így ideális választás magas hőmérsékletű és korrozív környezetben való használatra. Kiváló sűrűsége és hővezető képessége kivételes hőeloszlást és védelmet biztosít a félvezetőgyártási alkalmazásokban.
A Semicorexnél arra összpontosítunk, hogy kiváló minőségű, költséghatékony termékeket biztosítsunk ügyfeleinknek. A félvezetőben készült SiC bevonatú hordó szuszceptorunk árelőnnyel rendelkezik, és számos európai és amerikai piacra exportálják. Célunk, hogy az Ön hosszú távú partnere legyünk, állandó minőségű termékeket és kivételes ügyfélszolgálatot biztosítva.
A félvezetőben lévő SiC bevonatú hordó szuszceptor paraméterei
A CVD-SIC bevonat főbb specifikációi |
||
SiC-CVD tulajdonságai |
||
Kristályszerkezet |
FCC β fázis |
|
Sűrűség |
g/cm³ |
3.21 |
Keménység |
Vickers keménység |
2500 |
Szemcseméret |
μm |
2~10 |
Kémiai tisztaság |
% |
99.99995 |
Hőkapacitás |
J kg-1 K-1 |
640 |
Szublimációs hőmérséklet |
℃ |
2700 |
Felexurális Erő |
MPa (RT 4 pontos) |
415 |
Young's Modulus |
Gpa (4 pont kanyar, 1300 ℃) |
430 |
Hőtágulás (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Hővezetőképesség |
(W/mK) |
300 |
A félvezetőben lévő SiC bevonattal ellátott hordó szuszceptor jellemzői
- Mind a grafit szubsztrát, mind a szilícium-karbid réteg jó sűrűségű, és jó védő szerepet játszhat magas hőmérsékleten és korrozív munkakörnyezetben.
- Az egykristály növesztéshez használt szilícium-karbid bevonatú szuszceptor nagyon magas felületi síksággal rendelkezik.
- Csökkentse a hőtágulási együttható különbségét a grafit szubsztrát és a szilícium-karbid réteg között, hatékonyan javítja a kötési szilárdságot a repedés és a rétegvesztés megakadályozása érdekében.
- Mind a grafit szubsztrát, mind a szilícium-karbid réteg magas hővezető képességgel és kiváló hőelosztási tulajdonságokkal rendelkezik.
- Magas olvadáspont, magas hőmérsékletű oxidációállóság, korrózióállóság.