Ha kiváló minőségű, nagy tisztaságú SiC bevonatú grafit szuszceptort keres, a SiC bevonattal ellátott Semicorex LPE hordószuszceptor a tökéletes választás. Kivételes hővezető képessége és hőeloszlási tulajdonságai ideálissá teszik a félvezetőgyártási alkalmazásokhoz.
A SiC bevonattal ellátott Semicorex LPE hordószuszceptor egy prémium minőségű grafittermék, amely nagy tisztaságú SiC-vel van bevonva, így ideális választás magas hőmérsékletű és korrozív környezetben való használatra. Kiváló sűrűsége és hővezető képessége kivételes hőeloszlást és védelmet biztosít a félvezetőgyártási alkalmazásokban.
A Semicorexnél arra összpontosítunk, hogy kiváló minőségű, költséghatékony termékeket biztosítsunk ügyfeleinknek. SiC bevonattal ellátott LPE hordó szuszceptorunk árelőnnyel rendelkezik, és számos európai és amerikai piacra exportálják. Célunk, hogy az Ön hosszú távú partnere legyünk, állandó minőségű termékeket és kivételes ügyfélszolgálatot biztosítva.
A SiC bevonatú LPE hordó szuszceptor paraméterei
A CVD-SIC bevonat főbb specifikációi |
||
SiC-CVD tulajdonságai |
||
Kristályos szerkezet |
FCC β fázis |
|
Sűrűség |
g/cm³ |
3.21 |
Keménység |
Vickers keménység |
2500 |
Szemcseméret |
μm |
2~10 |
Kémiai tisztaság |
% |
99.99995 |
Hőkapacitás |
J·kg-1 ·K-1 |
640 |
Szublimációs hőmérséklet |
℃ |
2700 |
Felexurális Erő |
MPa (RT 4 pontos) |
415 |
Young's Modulus |
Gpa (4 pt kanyar, 1300º) |
430 |
Hőtágulás (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Hővezető |
(W/mK) |
300 |
Az LPE hordó szuszceptor jellemzői SiC bevonattal
- Mind a grafit szubsztrát, mind a szilícium-karbid réteg jó sűrűségű, és jó védő szerepet játszhat magas hőmérsékleten és korrozív munkakörnyezetben.
- Szilícium-karbid bevonatú szuszceptor, amelyet egykristály növesztésre használnak, nagyon magas felületi síkságú.
- Csökkentse a hőtágulási együttható különbségét a grafit szubsztrát és a szilícium-karbid réteg között, hatékonyan javítja a kötési szilárdságot a repedés és a rétegvesztés megakadályozása érdekében.
- Mind a grafit szubsztrát, mind a szilícium-karbid réteg magas hővezető képességgel és kiváló hőelosztási tulajdonságokkal rendelkezik.
- Magas olvadáspont, magas hőmérsékletű oxidációállóság, korrózióállóság.