Monokristályos szilícium epitaxiális szuszceptor

A Semicorex ultra-tiszta monokristályos szilícium epitaxiális szuszceptor tökéletes grafit epitaxiához és ostyakezelési folyamatokhoz, minimális szennyeződést és kivételesen hosszú élettartamot biztosít. Termékeink jó árelőnnyel rendelkeznek, és számos európai és amerikai piacot lefednek. Bízunk benne, hogy hosszú távú partnere lehetünk Kínában.

Kérdés küldése

termékleírás

A Semicorex monokristályos szilícium epitaxiális szuszceptor egy nagy tisztaságú SiC-vel bevont grafit termék, amely magas hő- és korrózióállósággal rendelkezik. A CVD szilícium-karbid bevonatú hordozó a félvezető lapkák epitaxiális rétegét képező folyamatokban, amely magas hővezető képességgel és kiváló hőelosztási tulajdonságokkal rendelkezik.
Monokristályos szilícium epitaxiális szuszceptorunkat úgy tervezték, hogy a legjobb lamináris gázáramlási mintát érje el, biztosítva a hőprofil egyenletességét. Ez segít megelőzni a szennyeződéseket vagy a szennyeződések diffúzióját, biztosítva a jó minőségű epitaxiális növekedést az ostya chipen.
Lépjen kapcsolatba velünk még ma, ha többet szeretne megtudni a monokristályos szilícium epitaxiális szuszceptorunkról.

A monokristályos szilícium epitaxiális szuszceptor paraméterei

A CVD-SIC bevonat főbb specifikációi
SiC-CVD tulajdonságai
Kristályos szerkezet	FCC Î² fázis
Sűrűség	g/cm³	3.21
Keménység	Vickers keménység	2500
Szemcseméret	Î¼m	2~10
Kémiai tisztaság	%	99.99995
Hőkapacitás	J·kg-1 ·K-1	640
Szublimációs hőmérséklet	℃	2700
Felexurális Erő	MPa (RT 4 pontos)	415
Young's Modulus	Gpa (4 pt kanyar, 1300º)	430
Hőtágulás (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Hővezető	(W/mK)	300

A monokristályos szilícium epitaxiális szuszceptor jellemzői

- Mind a grafit szubsztrát, mind a szilícium-karbid réteg jó sűrűségű, és jó védő szerepet játszhat magas hőmérsékleten és korrozív munkakörnyezetben.
- Szilícium-karbid bevonatú szuszceptor, amelyet egykristály növesztésre használnak, nagyon magas felületi síkságú.
- Csökkentse a hőtágulási együttható különbségét a grafit szubsztrát és a szilícium-karbid réteg között, hatékonyan javítja a kötési szilárdságot a repedés és a rétegvesztés megakadályozása érdekében.
- Mind a grafit szubsztrát, mind a szilícium-karbid réteg magas hővezető képességgel és kiváló hőelosztási tulajdonságokkal rendelkezik.
- Magas olvadáspont, magas hőmérsékletű oxidációállóság, korrózióállóság.