Kétféle epitaxia létezik: homogén és heterogén. Különböző alkalmazásokhoz specifikus ellenállású és egyéb paraméterekkel rendelkező SiC eszközök előállításához a szubsztrátumnak meg kell felelnie az epitaxia feltételeinek a gyártás megkezdése előtt. Az epitaxia minősége befolyásolja a készülék telje......
Olvass továbbIn semiconductor fabrication, etching is one of the major steps, along with photolithography and thin-film deposition. It involves removing unwanted materials from the surface of a wafer using chemical or physical methods. This step is carried out after coating, photolithography, and developing. It ......
Olvass továbbA SiC szubsztrátumnak lehetnek mikroszkopikus hibái, mint például a menetcsavar diszlokáció (TSD), a menetél diszlokáció (TED), az alapsík diszlokáció (BPD) és mások. Ezeket a hibákat az atomok atomi szintű elrendezésének eltérései okozzák. A SiC kristályoknak lehetnek makroszkópikus diszlokációi is......
Olvass tovább