Poly-Si külső gyűrűk maratáshoz

Jellemzően azuhanyfej, Poly-Si külső gyűrű a kipufogógyűrű és a zuhanyfej közötti összekötő részként működik. Együttműködik aelektrosztatikus tokmány, az Si zuhanyfej, az Si fókuszgyűrű, az Si kipufogógyűrű és az Si árnyékoló gyűrű, amelyek stabil és megbízható folyamatkörnyezetet teremtenek a nagy pontosságú maratási műveletekhez.

A Semicorex poly-Si külső gyűrűk előnyei maratáshoz

A Semicorex poly-Si külső gyűrűk maratáshoz precízen kiváló minőségű poliszilíciumból készülnek, és a következő kiváló tulajdonságokat biztosítják.

1. Magas tisztaság és alacsony részecsketartalom

2. Kiváló magas hőmérsékleti ellenállás és magas hősokkállóság

3. Megbízható korrózióállóság

4.Kivételes elektromos teljesítmény és magas elektromos vezetőképesség egyenletessége

A Semicorex poly-Si külső gyűrűk funkciói maratáshoz

1. Stabil földelési teljesítmény

Az elektróda földelésére és védelmére használt Semicorex poly-Si külső gyűrűk maratáshoz képesek elkerülni a statikus felhalmozódást, valamint az ívkárosodást, és biztosítják az elektródarendszer stabil működését, tökéletesen kielégítve a fejlett 3D NAND gyártás folyamatkövetelményeit.

2. Megbízható támogatás

A maratáshoz használt Semicorex poly-Si külső gyűrűk a kipufogógyűrűt és a zuhanyfejet összekötő alapvető alkotóelemek. Megbízható mechanikai alátámasztást biztosítanak mindkét alkatrésznek, és stabilan a megfelelő helyen tartják őket. Ezenkívül a Semicorex poly-Si külső gyűrűk maratáshoz történő használata megakadályozhatja a plazma eróziót a maratókamrán, ami így hatékonyan biztosítja a maratási művelet stabil végrehajtását.

3. Kompatibilitás a maratási eljárással

A maratáshoz használt Semicorex poly-Si külső gyűrűk alacsony szennyezőanyag-tartalommal és kivételes korrózióállósággal rendelkeznek, kiváló kompatibilitást biztosítva a szilíciumlapkák gyártásával, ami nagymértékben csökkenti a maratott melléktermékek szennyeződése által okozott laphibákat, és jelentősen biztosítja a félvezetőgyártás magas hozamát.