Szilikon pajzs gyűrű

A Semicorex Silicon Shield Ring egy kritikus félvezető komponens a maratási folyamatban. Elsődleges feladata az elektróda körülvétele és a túlzott plazmaszivárgás megakadályozása. A 9N-t (99,9999999%) meghaladó anyagtisztaságú pajzsgyűrű egykristályból és többkristályból is készülhetszilícium, biztosítva a rendkívül tiszta működést és a fejlett félvezetőgyártási folyamatokkal való megbízható kompatibilitást.

A pontos plazmaszabályozás a CCP/ICP maratási folyamatban elengedhetetlen a hatékony, egyenletes maratási sebességhez és a lapkaminőséghez. Az ellenőrizetlen plazma szivárgása a kívánt maratási területen kívül felületi eróziót és szennyeződést okozhat, vagy károsíthatja a kamrában lévő alkatrészeket. A szilícium pajzsgyűrű hatékony, egyszerű megoldás erre a problémára, amely védőgátat képez az elektróda külső kerületén, megakadályozza a plazma terjedését a célterületen kívülre, és a maratást csak a kívánt területre korlátozza. A szilícium árnyékoló gyűrű egyben külső elektródaként is működik, stabilizálja a plazmaeloszlást és egyenletesebb energiát biztosít a lapka felületén.

A szilícium termikus és elektromos tulajdonságai tovább támogatják a maratópajzs gyűrű teljesítményét. Magas folyamathőmérsékletekkel szembeni ellenállása biztosítja a szerkezeti integritást hosszan tartó plazmaexpozíció során, elektromos vezetőképessége pedig lehetővé teszi, hogy az alkatrész megfelelően működjön az elektródarendszer elemeként. Ezek az alkalmazások együttesen javítják a plazma behatárolását és javítják az energia egyenletességét, ami lehetővé teszi az ismételhető maratási profilok létrehozását az ostyákon.

A tartósság és a költséghatékonyság még két értékes előny. A kamra szükségtelen szakaszainak a plazmától való árnyékolásával az árnyékoló gyűrű csökkenti a többi kritikus komponens kopását, ami csökkenti a karbantartási erőfeszítéseket és növeli a teljes üzemidőt. A hosszú élettartam és a ritkább csere költséghatékony megoldást jelent a félvezető gyárak számára a termelékenység növelésére és ezáltal az üzemeltetési költségek csökkentésére.

Az árnyékoló gyűrű testreszabható az egyes szerszámkonfigurációkhoz és folyamatspecifikációkhoz is, mivel többféle méretben és geometriában is elérhetők, hogy megfeleljenek a gyártó által gyártott különféle plazmamaratókamráknak, miközben optimális illeszkedést biztosítanak. Ezenkívül felületkezelések és polírozás használható a részecskeképződés további csökkentésére az ultratiszta gyártási szabványok érdekében.

ASzilíciumAz árnyékoló gyűrű testreszabható az egyes szerszámkonfigurációkhoz és folyamatspecifikációkhoz is, mivel többféle méretben és geometriában is elérhetők, hogy megfeleljenek a gyártó által gyártott különféle plazmamaratókamráknak, miközben optimális illeszkedést biztosítanak. Ezenkívül felületkezelések és polírozás használható a részecskeképződés további csökkentésére az ultratiszta gyártási szabványok érdekében.